[实用新型]一种探针台小面积温控平台

权利要求书

1.一种探针台小面积温控平台，包括：第一侧板和第二侧板，其特征在于：所述第一侧板和第二侧板之间设置有散热器，所述散热器上方设置有制冷片，所述制冷片上方设置有加热片，所述制冷片和加热片都与导热块相接触。

2.根据权利要求1所述的探针台小面积温控平台，其特征在于：所述第一侧板和第二侧板之间还连接有第三侧板和第四侧板，所述第一侧板、第二侧板、第三侧板、第四侧板、散热器和导热块围成一个空腔。

3.根据权利要求2所述的探针台小面积温控平台，其特征在于：所述导热块上均布有若干贯穿导热块的小孔，所述小孔与空腔相连通。

4.根据权利要求2所述的探针台小面积温控平台，其特征在于：所述第一侧板上设置有贯穿第一侧板的真空吸附气道，所述真空吸附气道通过凹槽与空腔相连通。

5.根据权利要求1所述的探针台小面积温控平台，其特征在于：所述加热片和制冷片通过一个9P航空插头与外界电连接，所述9P航空插头设置于第一侧板上。

6.根据权利要求1所述的探针台小面积温控平台，其特征在于：所述散热器下方设置有散热风扇。

7.根据权利要求1所述的探针台小面积温控平台，其特征在于：所述第三侧板和第四侧板的边缘都设置有散热孔。

8.根据权利要求1所述的探针台小面积温控平台，其特征在于：所述加热片位于制冷片与导热块之间。

9.根据权利要求1所述的探针台小面积温控平台，其特征在于：所述加热片为陶瓷加热片。

10.根据权利要求1所述的探针台小面积温控平台，其特征在于：所述制冷片为半导体制冷片。