[实用新型]一种烘箱出料口用硅片降温装置

权利要求书

1.一种烘箱出料口用硅片降温装置，其特征在于，包括两侧开口的方形箱体，箱体底部设有支架，两条以上水平布置、从烘箱出口伸出的传送带穿过箱体两侧的开口，箱体内设有若干竖直布置的隔板，隔板将传送带一一隔开，隔板将箱体分为两个以上腔室，每个腔室两侧开口处均设有柔性挡板，柔性挡板位于传送带上方，箱体位于传送带下方的两侧开口处均设有侧板，每个腔室顶部和底部均布设有一个风扇，顶部和底部的两风扇同向转动，气流从上至下流动。

2.根据权利要求1所述的烘箱出料口用硅片降温装置，其特征在于，箱体底板外侧设有与箱体密封连接的集气箱，一根输送管一端连通集气箱内腔，另一端为延伸至烘箱进口处的出风口，出风口出布设有吹风组件。

3.根据权利要求2所述的烘箱出料口用硅片降温装置，其特征在于，所述输送管内设有滤网。

4.根据权利要求1所述的烘箱出料口用硅片降温装置，其特征在于，每个腔室内设有均温度传感器。

5.根据权利要求1所述的烘箱出料口用硅片降温装置，其特征在于，驱动风扇转动的电机为调速电机。