[实用新型]一种烘箱出料口用硅片降温装置

说明书

本实用新型公开了一种烘箱出料口用硅片降温装置，涉及硅片生产设备领域，包括两侧开口的方形箱体，箱体底部设有支架，两条以上水平布置、从烘箱出口伸出的传送带穿过箱体两侧的开口，箱体内设有若干竖直布置的隔板，隔板将传送带一一隔开，隔板将箱体分为两个以上腔室，每个腔室两侧开口处均设有柔性挡板，柔性挡板位于传送带上方，箱体位于传送带下方的两侧开口处均设有侧板，每个腔室顶部和底部均布设有一个风扇，顶部和底部的两风扇同向转动，气流从上至下流动。本实用新型中对烘箱烘干的硅片进行吹风散热，散热效果优良。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备领域，尤其涉及一种烘箱出料口用硅片降温装置。

背景技术

硅片生产时，硅片经过在切割、清洗、插片等工艺处理后，硅片放置在插片盒内，插片盒被输送进烘箱内进行烘干，烘干完成后的硅片温度较高，流水线生产会将烘箱出来的硅片送入分选仪进行检测。温度会影响硅片的电阻率等特性，导致分选仪分选时出现误差，所以对烘箱出来的硅片进行散热很有必要。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种烘箱出料口用硅片降温装置。

本实用新型的创新点在于对烘箱烘干的硅片进行吹风散热，散热效果优良。

为实现上述实用新型目的，本实用新型的技术方案是：一种烘箱出料口用硅片降温装置，其特征在于，包括两侧开口的方形箱体，箱体底部设有支架，两条以上水平布置、从烘箱出口伸出的传送带穿过箱体两侧的开口，箱体内设有若干竖直布置的隔板，隔板将传送带一一隔开，隔板将箱体分为两个以上腔室，每个腔室两侧开口处均设有柔性挡板，柔性挡板位于传送带上方，箱体位于传送带下方的两侧开口处均设有侧板，每个腔室顶部和底部均布设有一个风扇，（箱体就是不封闭的，对硅片进行风冷散热也不需要封闭的箱体，上风扇引入空气，下风扇排出热空气，用挡板这些只是为了空气能更容易实现定向流动，散热的效果好，我把这句话删了风扇将腔室与外界大气连通），顶部和底部的两风扇同向转动，气流从上至下流动。上风扇将空气引入腔室，下风扇腔室内热气排出，腔室内形成从上至下的风道，对被烘箱送出的硅片进行吹风散热，散热效果优良，不会对硅片造成损伤，装置结构简单，每个腔室之间互不影响。

进一步地，箱体底板外侧设有与箱体密封连接的集气箱，（这个是为了不使热空气散发，所以采用密封连接）一根输送管一端连通集气箱内腔，另一端为延伸至烘箱进口处的出风口，出风口出布设有吹风组件。集气箱内收集底部风扇吹出的热气流，热气流通过输送管吹向烘箱进口处，对即将进入烘箱的硅片进行预加热烘干，实现热资源再利用。

进一步地，输送管内设有滤网。滤网可过滤灰尘，输送管上内输送的气流不含灰尘，以免吹出的气流弄脏硅片，造成后续检测的误差。

进一步地，每个腔室内设有均温度传感器。传感器可用于判断腔室内温度，便于工作人员对风扇转速或者出风时间进行调整。

进一步地，驱动风扇转动的电机为调速电机。调速电机调整风扇的转速，能处理不同温度的硅片，硅片的降温效果更好。

本实用新型的有益效果是 ：

1.本实用新型中通过若干对风扇对硅片进行吹风散热降温，使得硅片在后续检测工艺中不受温度影响。

2. 本实用新型中集气箱配合输送管，实现了对热空气再次利用，节省了能源。

3. 本实用新型中传感器可用于判断腔室内温度，便于工作人员对风扇转速或者出风时间进行调整。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为箱体的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。