[实用新型]一种三氯氢硅流化床

权利要求书

1.一种三氯氢硅流化床，其包括流化床壳体，所述流化床壳体包括位于流化床壳体中间的筒体、位于流化床壳体上部的出料口、位于流化床壳体下部的硅粉进料口及氯化氢进气口，所述筒体内设有换热管管束，所述换热管管束上安装有稳定板，其特征在于：所述稳定板呈中间高周围低的圆锥状，所述筒体上对应所述稳定板的位置设有辅助进气口，所述辅助进气口的轴线的延长线位于所述稳定板上，用于使所述辅助进气口的进气吹向所述稳定板。

2.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅流化床，其特征在于：所述流化床壳体还包括位于所述筒体上方的上封头和位于所述筒体下方的下封头，所述筒体包括由上至下依次设置的换热管装配段、反应段、进气分布段，所述换热管装配段的上方与所述上封头连接，所述进气分布段的下方与所述下封头连接，所述进气分布段内设有进气分布板，所述进气分布板呈周围高中间低的锥状，所述硅粉进料口通过延伸管道与所述进气分布板连接并与所述反应段连通，所述进气分布板上连接有风帽，氯化氢进气口与所述进气分布段连通，所述进气分布段通过所述风帽与所述反应段连通。

3.根据权利要求2所述的一种三氯氢硅流化床，其特征在于：所述延伸管道的端部设有填料压盖，所述进气分布板中间设有连接件一，所述填料压盖包括向水平方向延伸的连接部一、向下方延伸的密封部，所述连接件一包括与所述连接部一螺栓连接的连接部二、位于其中间供所述延伸管道穿过的避让孔，当所述填料压盖与所述进气分布板连接时，所述延伸管道和所述连接部二之间留有密封间隙，所述密封间隙内设有石棉盘根，所述密封部的底端伸入所述密封间隙并压覆在所述盘根上。

4.根据权利要求2或3所述的一种三氯氢硅流化床，其特征在于：所述换热管装配段的筒体底端外侧设有凸缘一，所述反应段的筒体顶端外侧设有凸缘二，所述反应段的筒体底端外侧设有凸缘三，所述进气分布段的筒体的顶端外侧设有凸缘四，所述凸缘一与所述凸缘二之间、所述凸缘三与所述凸缘四之间分别通过螺栓连接；所述凸缘一底部设有向下延伸的凸起一，所述凸缘二顶部对应所述凸起一的位置设有凹槽一，所述凹槽一内设有柔性石墨缠绕垫，所述凸起一通过压在所述柔性石墨缠绕垫上实现密封；所述凸缘三和所述凸缘四上分别设有相对的凹槽二和凹槽三，所述进气分布板端部连接有安装块，所述安装块位于凹槽二和所述凹槽三之间并且所述安装块与所述凹槽二和所述凹槽三的槽底之间分别设有柔性石墨缠绕垫。

5.根据权利要求2所述的一种三氯氢硅流化床，其特征在于：所述换热管装配段内设有装配杆，换热管上部设有装夹支架，所述装配杆通过吊杆与换热管、装夹支架连接。

6.根据权利要求2所述的一种三氯氢硅流化床，其特征在于：所述反应段设有圈座，所述反应段的筒体外侧对应未设置所述圈座的位置设置有加热盘管，所述反应段的筒体外侧对应设置有所述圈座的位置设有加热壳体，所述加热壳体和所述反应段的筒体围合形成加热腔，所述加热壳体下端设有与加热腔连通的导热油进口一并且上端设有与加热腔连通的导热油出口一，所述圈座连接在所述加热壳体外侧。

7.根据权利要求6所述的一种三氯氢硅流化床，其特征在于：所述反应段的筒体外侧对应位于所述加热腔内的部分连接有导热翅片。

8.根据权利要求6或7所述的一种三氯氢硅流化床，其特征在于：所述加热壳体底部还设有排净口，所述加热壳体顶部还设有排气口。

9.根据权利要求2或5所述的一种三氯氢硅流化床，其特征在于：所述换热管装配段上还设有与所述换热管连接的导热油进口二、导热油出口二。

10.根据权利要求2所述的一种三氯氢硅流化床，其特征在于：所述换热管装配段、所述反应段、所述进气分布段均匀设有测温口和测压口。