[实用新型]高功率半导体激光器VBG锁定装置

说明书

本实用新型涉及一种高功率半导体激光器VBG锁定装置，包括光学平台，用于安装固定水冷组件、5轴调节组、功率计和光谱仪；水冷组件，用于放置半导体激光器并且对半导体激光器进行降温；5轴调节组，用于对VBG进行位置及角度的调节，将VBG移动到半导体激光器处，进行光谱锁定；功率计，接收半导体激光器输入的激光并漫反射部分激光到光谱仪处；光谱仪，用于接受功率计漫反射的激光，并反馈光谱信息，本实用新型具有方便对半导体激光器进行VBG波长锁定的效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体激光器的技术领域，具体涉及一种高功率半导体激光器VBG锁定装置。

背景技术

半导体激光器由于体积小、重量轻、转换效率高、使用寿命长等优点，在医疗、显示、泵浦、工业加工等领域有广泛的应用。近年来，随着半导体材料外延生长技术、半导体激光波导结构优化技术、腔面钝化技术、高稳定性封装技术、高效散热技术的飞速发展，特别是在直接半导体激光工业加工应用以及大功率光纤激光器抽运需求的推动下，具有高功率、高光束质量的半导体激光器飞速发展，为获得高质量、高性能的直接半导体激光加工设备以及高性能大功率光纤激光抽运源提供了光源基础。

为了减少固体激光器、光纤体激光器泵浦源波长热致漂移带来的影响，此时需要将泵浦输出波长锁定的技术，从而形成带VBG波长锁定的半导体激光器，为了在半导体激光器上进行安装VBG锁定，此时需要设计一种能够对半导体激光器进行VBG锁定的装置。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决无法对半导体激光器进行VBG波长锁定的技术问题，从而提供一种高功率半导体激光器VBG锁定装置。

一种高功率半导体激光器VBG锁定装置，包括：

光学平台，用于安装固定水冷组件、5轴调节组、功率计和光谱仪；

水冷组件，用于放置半导体激光器并且对半导体激光器进行降温；

5轴调节组，用于对VBG进行位置及角度的调节，将VBG移动到半导体激光器处，进行光谱锁定；

功率计，接收半导体激光器输入的激光并漫反射部分激光到光谱仪处；

光谱仪，用于接受功率计漫反射的激光，并反馈光谱信息。

进一步的，所述5轴调节组包括设置在5轴调节组移动端上的真空吸嘴，所述真空吸嘴和外部的真空泵连通，所述真空吸嘴用于吸附VBG。

进一步的，所述水冷组件包括架设在光学平台上的第一放置台和水冷板，半导体激光器位于所述水冷板的表面并和所述水冷板贴合，所述水冷板和外部的冷却水泵连通。

进一步的，所述水冷板放置在第一放置台上，所述第一放置台上设置有多个限位块，所述水冷板通过多个所述限位块限位于第一放置台预设位置。

进一步的，所述第一放置台上还设置有驱动电机，所述驱动电机驱使水冷板沿竖直方向移动。

进一步的，所述水冷组件包括TEC模组，半导体激光器放置在所述TEC 模组上。

进一步的，所述功率计和水冷组件之间设有第一光纤接头座，所述第一光纤接头座用于固定半导体激光器的输出端，所述功率计、水冷组件和第一光纤接头座处于同一平面。

进一步的，所述光谱仪和功率计之间设有第二光纤接头座，所述第二光纤接头座用于固定光谱仪输入端，所述功率计和第二光纤接头座处于同一平面。

进一步的，所述第一光纤接头座正对所述功率计，所述功率计分别和所述第一光纤接头座与第二光纤接头座之间的两条连线之间的夹角为多少度。

进一步的，所述5轴调节组还包括三个平移轴和两个角位移轴，通过三个所述平移轴和两个所述角位移轴来调节VBG的位置和角度。

本实用新型技术方案，具有如下优点：