[实用新型]一种PCB填孔工艺药水在线铜铁离子分析装置

权利要求书

1.一种PCB填孔工艺药水在线铜铁离子分析装置，其特征在于：按待检测药液流动方向顺序连通的采样模块、铜离子检测模块、铁离子检测模块和排液模块；所述采样模块包括顺序连通的进样泵(214)、流量开关(215)和流通杯(511)，所述进样泵(214)从槽液(804)中取样，所述流通杯(511)的输出口连通到所述铜离子检测模块的输入口。

2.如权利要求1所述的PCB填孔工艺药水在线铜铁离子分析装置，其特征在于：所述采样模块还包括有回流管道(803)，所述回流管道(803)连通所述流通杯(511)的回流口和槽液(804)。

3.如权利要求2所述的PCB填孔工艺药水在线铜铁离子分析装置，其特征在于：该分析装置还包括有第一切换阀组(217)，所述采样模块有多个，所述第一切换阀组(217)具有多个输入口，多个所述的采样模块并列设置且各自独立连接到所述第一切换阀组(217)的输入口，所述第一切换阀组(217)的输出口连通到所述铜离子检测模块的输入口，由所述第一切换阀组(217)控制选择连通所述采样模块与所述铜离子检测模块。

4.如权利要求3所述的PCB填孔工艺药水在线铜铁离子分析装置，其特征在于：所述第一切换阀组(217)还具有一连通到标液瓶(311)的输入口。

5.如权利要求1所述的PCB填孔工艺药水在线铜铁离子分析装置，其特征在于：所述采样模块、所述铜离子检测模块、所述铁离子检测模块和所述排液模块集成设置在移动柜体(10)中。

6.如权利要求1～5中任意一权利要求所述的PCB填孔工艺药水在线铜铁离子分析装置，其特征在于：该分析装置还包括有稀释液模块，所述稀释液模块包括按稀酸液流向顺序串联的酸液桶(312)、酸液输送泵(212)和稀酸计量器(219)，所述稀酸计量器(219)的出口端连通到所述铁离子检测模块的输入口，所述铁离子检测模块的输入口连通到排液模块。

7.如权利要求6所述的PCB填孔工艺药水在线铜铁离子分析装置，其特征在于：所述铁离子检测模块包括顺序串联的第二切换阀组(221)、反应杯(220)、检测输送泵(222)和铁离子检测器(218)，所述第二切换阀组(221)的第一进液口与所述铜离子检测模块的出液端相连通，所述稀酸计量器(219)的出口端连通到所述第二切换阀组(221)的第二进液口。

8.如权利要求7所述的PCB填孔工艺药水在线铜铁离子分析装置，其特征在于：所述第二切换阀组(221)包括两个切换阀，两个切换阀之间通过一定长度的固定内径连接管相连通实现计量，第二切换阀组(221)还设置有一个连通到所述排液模块的出液口。

9.如权利要求8所述的PCB填孔工艺药水在线铜铁离子分析装置，其特征在于：所述酸液桶(312)另有一出液口通过清洗泵(213)连通到反应杯(220)的进液口。

10.如权利要求4所述的PCB填孔工艺药水在线铜铁离子分析装置，其特征在于：所述第一切换阀组(217)还具有一连通到酸液桶(312)的输入口。