[实用新型]一种真空镀膜复合涂层装置有效

专利信息
申请号: 202122093471.X 申请日: 2021-09-01
公开(公告)号: CN216155949U 公开(公告)日: 2022-04-01
发明(设计)人: 杨林生 申请(专利权)人: 合肥聚盛真空科技有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;C23C14/50
代理公司: 合肥三川专利代理事务所(普通合伙) 34150 代理人: 潘光亮
地址: 230000 安徽省合肥市经济技*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 复合 涂层 装置
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜复合涂层装置,包括镀膜箱体(1)、蒸镀源发生器(2),其特征在于,还包括夹持组件以及镀膜组件,所述蒸镀源发生器(2)固定安装在镀膜箱体(1)顶部;

所述夹持组件包括相对布置在镀膜箱体(1)内两侧的L形夹持板(24),所述L形夹持板(24)分别与推动其在镀膜箱体(1)内水平移动的推动部件连接,所述镀膜箱体(1)外侧设置驱动电机(15),所述镀膜箱体(1)内底壁设置转轴(16),所述转轴(16)与镀膜箱体(1)内壁转动连接,所述镀膜箱体(1)外侧设置驱动电机(15),所述驱动电机(15)输出端与转轴(16)固定连接,所述转轴(16)两端分别通过皮带(17)以及皮带轮与推动部件传动连接;

所述镀膜组件安装在镀膜箱体(1)内上方,用于对夹持固定后的工件进行镀膜处理。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜复合涂层装置,其特征在于,所述推动部件包括支座(28),所述支座(28)间设置丝杆(20),所述丝杆(20)与支座(28)转动连接,所述丝杆(20)两侧螺纹方向相反,所述丝杆(20)末端固定安装手柄(21),所述丝杆(20)表面两侧相对设置丝杆螺母(22),所述丝杆螺母(22)转动连接推杆(23),所述推杆(23)远离丝杆螺母(22)的一端与L形夹持板(24)转动连接,所述支座(28)远离L形夹持板(24)的一端通过皮带轮与皮带(17)传动连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种真空镀膜复合涂层装置,其特征在于,两侧所述L形夹持板(24)内侧壁表面均设置防滑垫(25)。

4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜复合涂层装置,其特征在于,所述丝杆(20)一侧还设置有限位杆(26),所述限位杆(26)与支座(28)一端固定连接,所述限位杆(26)表面设置限位座(27),所述限位座(27)与限位杆(26)滑动连接,所述限位座(27)与丝杆螺母(22)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜复合涂层装置,其特征在于,所述镀膜组件包括蒸镀源输送管(3),所述蒸镀源输送管(3)一端与蒸镀源发生器(2)连接,另一端延伸连接镀膜腔(7),所述镀膜腔(7)朝向工件的一侧均匀设置多组镀膜喷头(8)。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜复合涂层装置,其特征在于,所述镀膜组件还包括往复驱动部件,所述往复驱动部件与蒸镀源输送管(3)连接,用于带动镀膜喷头(8)在镀膜箱体(1)内水平移动,所述往复驱动部件包括转动杆(19),所述转动杆(19)转动安装在镀膜箱体(1)内,所述转动杆(19)间设置螺杆(5),所述转动杆(19)一端与转动部件连接,转动部件用于带动转动杆(19)以及螺杆(5)转动,所述螺杆(5)表面设置螺母(4),所述螺母(4)与蒸镀源输送管(3)固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜复合涂层装置,其特征在于,所述转动部件包括锥齿轮一(14),所述驱动电机(15)输出端与锥齿轮一(14)固定连接,所述锥齿轮一(14)与锥齿轮二(13)啮合,所述锥齿轮二(13)远离锥齿轮一(14)的一端与转动柱(12)固定连接,所述转动柱(12)远离锥齿轮二(13)的一端与半锥齿轮(11)固定连接,所述转动杆(19)末端贯穿镀膜箱体(1)侧壁对称固定安装锥齿轮三(10),所述半锥齿轮(11)与两侧锥齿轮三(10)间歇性啮合。

8.根据权利要求7所述的一种真空镀膜复合涂层装置,其特征在于,所述螺杆(5)一侧设置导杆(18),所述导杆(18)与镀膜箱体(1)内壁固定连接,所述导杆(18)表面滑动安装活动座(6),所述活动座(6)与蒸镀源输送管(3)固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种真空镀膜复合涂层装置,其特征在于,所述镀膜箱体(1)内底部设置收集罩(9),所述收集罩(9)用于对喷涂的多余物料进行收集。

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