[实用新型]一种真空镀膜复合涂层装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜复合涂层装置，涉及真空镀膜设备技术领域，包括镀膜箱体、蒸镀源发生器，还包括夹持组件以及镀膜组件，所述蒸镀源发生器固定安装在镀膜箱体顶部；所述夹持组件包括相对布置在镀膜箱体内两侧的L形夹持板，所述L形夹持板分别与推动其在镀膜箱体内水平移动的推动部件连接，所述镀膜箱体外侧设置驱动电机，所述镀膜箱体内底壁设置转轴，通过推动部件推动两侧L形夹持板同时向内侧移动对工件进行夹持固定，启动驱动电机，所述驱动电机带动转轴转动，所述转轴在转动的过程中通过皮带以及皮带轮带动两侧推动部件以及夹持后的工件进行转动，所述镀膜组件对夹持后的工件进行镀膜处理，镀膜更加均匀。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体是一种真空镀膜复合涂层装置。

背景技术

真空镀膜设备主要指在较高真空度下进行镀膜的设备，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，镀膜后不仅能保护工件，防止工件磨损、氧化，而且使工件表面光滑，装饰性强。

在实际生产加工过程中，在镀膜前通常需要对待镀膜工件进行夹持固定，然而现有夹持机构结构简单，不易对夹持后的工件角度进行调节，因此会出现镀膜不均匀的现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜复合涂层装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空镀膜复合涂层装置，包括镀膜箱体、蒸镀源发生器，还包括夹持组件以及镀膜组件，所述蒸镀源发生器固定安装在镀膜箱体顶部；

所述夹持组件包括相对布置在镀膜箱体内两侧的L形夹持板，所述L形夹持板分别与推动其在镀膜箱体内水平移动的推动部件连接，所述镀膜箱体外侧设置驱动电机，所述镀膜箱体内底壁设置转轴，所述转轴与镀膜箱体内壁转动连接，所述镀膜箱体外侧设置驱动电机，所述驱动电机输出端与转轴固定连接，所述转轴两端分别通过皮带以及皮带轮与推动部件传动连接；

所述镀膜组件安装在镀膜箱体内上方，用于对夹持固定后的工件进行镀膜处理。

优选的，所述推动部件包括支座，所述支座间设置丝杆，所述丝杆与支座转动连接，所述丝杆两侧螺纹方向相反，所述丝杆末端固定安装手柄，所述丝杆表面两侧相对设置丝杆螺母，所述丝杆螺母转动连接推杆，所述推杆远离丝杆螺母的一端与L形夹持板转动连接，所述支座远离L形夹持板的一端通过皮带轮与皮带传动连接。

优选的，两侧所述L形夹持板内侧壁表面均设置防滑垫。

优选的，所述丝杆一侧还设置有限位杆，所述限位杆与支座一端固定连接，所述限位杆表面设置限位座，所述限位座与限位杆滑动连接，所述限位座与丝杆螺母固定连接。

优选的，所述镀膜组件包括蒸镀源输送管，所述蒸镀源输送管一端与蒸镀源发生器连接，另一端延伸连接镀膜腔，所述镀膜腔朝向工件的一侧均匀设置多组镀膜喷头。

优选的，所述镀膜组件还包括往复驱动部件，所述往复驱动部件与蒸镀源输送管连接，用于带动镀膜喷头在镀膜箱体内水平移动，所述往复驱动部件包括转动杆，所述转动杆转动安装在镀膜箱体内，所述转动杆间设置螺杆，所述转动杆一端与转动部件连接，转动部件用于带动转动杆以及螺杆转动，所述螺杆表面设置螺母，所述螺母与蒸镀源输送管固定连接。

优选的，所述转动部件包括锥齿轮一，所述驱动电机输出端与锥齿轮一固定连接，所述锥齿轮一与锥齿轮二啮合，所述锥齿轮二远离锥齿轮一的一端与转动柱固定连接，所述转动柱远离锥齿轮二的一端与半锥齿轮固定连接，所述转动杆末端贯穿镀膜箱体侧壁对称固定安装锥齿轮三，所述半锥齿轮与两侧锥齿轮三间歇性啮合。

优选的，所述螺杆一侧设置导杆，所述导杆与镀膜箱体内壁固定连接，所述导杆表面滑动安装活动座，所述活动座与蒸镀源输送管固定连接。