[实用新型]一种真空镀膜设备的冷却装置

权利要求书

1.一种真空镀膜设备的冷却装置，包括真空镀膜箱体(1)，其特征在于，还包括：

夹持组件，所述夹持组件包括布置在真空镀膜箱体(1)内的支板(10)，所述支板(10)表面相对布置支座(7)，两侧所述支座(7)间设置紧固螺杆(8)，所述紧固螺杆(8)与支座(7)通过螺纹连接，两侧所述紧固螺杆(8)相互远离的一端与手柄(27)固定连接，所述紧固螺杆(8)远离手柄(27)的一端与夹持板(6)转动连接，以及

冷却组件，所述冷却组件包括布置在真空镀膜箱体(1)内壁表面的多组冷却水管(30)，所述真空镀膜箱体(1)外侧壁表面布置多组与冷却水管(30)连通的循环水管(21)，所述循环水管(21)间设置制冷箱(22)，所述制冷箱(22)用于对循环水管(21)进行冷却，制冷箱(22)外侧设置循环水泵(24)，所述循环水管(21)与循环水泵(24)连接，所述循环水泵(24)远离制冷箱(22)的一侧与输水管(23)连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，所述真空镀膜箱体(1)内还设置有升降部件，所述升降部件用于推动夹持后的工件在真空镀膜箱体(1)内竖直方向上下移动，所述升降部件包括相对布置在真空镀膜箱体(1)内的螺杆(18)，所述螺杆(18)两端分别与真空镀膜箱体(1)内壁转动连接，所述螺杆(18)表面设置螺母(28)，两侧所述螺杆(18)顶部末端贯穿真空镀膜箱体(1)顶壁并通过皮带(3)以及皮带轮传动连接，所述真空镀膜箱体(1)顶壁表面固定安装驱动电机(5)，所述驱动电机(5)输出端与主齿轮(4)固定连接，与驱动电机(5)同侧的所述螺杆(18)顶部末端固定安装副齿轮(2)，所述副齿轮(2)与主齿轮(4)啮合，两侧所述螺母(28)与支板(10)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，所述真空镀膜箱体(1)内壁表面还设置有散热壳(25)，所述冷却水管(30)安装在散热壳(25)内，所述散热壳(25)朝向夹持组件的一侧表面均匀设置多组散热孔(26)。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，所述支板(10)下方通过连杆与基板(11)固定连接，所述支板(10)间设置通槽(9)，所述基板(11)表面安装第一冷凝箱(29)，用于对支板(10)表面夹持后的工件进行初步冷却降温。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，所述真空镀膜箱体(1)内底壁两侧相对布置电动马达(13)，所述电动马达(13)输出端与叶片(12)固定连接，所述基板(11)表面均匀布置多组散热条孔(14)。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，所述真空镀膜箱体(1)与箱门(17)转动连接，箱门(17)用于对真空镀膜箱体(1)进行密封，所述箱门(17)内侧壁表面竖直方向相对布置第二冷凝箱(16)，用于在侧面方向对工件进行冷却降温，两侧所述第二冷凝箱(16)间设置加热器(15)。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，所述箱门(17)外侧壁表面设置观测窗口(19)，所述箱门(17)外表面还固定安装有把手(20)。