[实用新型]一种真空镀膜设备的冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜设备的冷却装置，涉及真空镀膜设备技术领域，包括真空镀膜箱体，还包括：夹持组件，所述夹持组件包括布置在真空镀膜箱体内的支板，所述支板表面相对布置支座，两侧所述支座间设置紧固螺杆，紧固螺杆与支座通过螺纹连接，两侧紧固螺杆相互远离的一端与手柄固定连接，紧固螺杆远离手柄的一端与夹持板转动连接，以及冷却组件，两侧紧固螺杆在转动的过程中同时朝向工件方向移动，两侧所述夹持板对工件进行夹持固定，循环水泵通过输水管将外界水箱内的水输送至循环水管内，制冷箱对输入至循环水管内的水进行冷却降温，经过冷却降温后的水输送至冷却水管内对真空镀膜箱体内部进行冷却降温。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体是一种真空镀膜设备的冷却装置。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

真空镀膜往往采用真空镀膜机进行镀膜，而现有的真空镀膜机在冷却方面性能差，不能有效快速的将真空室内的温度抽走，不能将抽走的温度进行降温，防止外界温度过高对镀膜机造成影响，不能对镀膜件进行有效的冷却降温，冷却效果差，效率低，速度慢。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜设备的冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空镀膜设备的冷却装置，包括真空镀膜箱体，还包括：

夹持组件，所述夹持组件包括布置在真空镀膜箱体内的支板，所述支板表面相对布置支座，两侧所述支座间设置紧固螺杆，所述紧固螺杆与支座通过螺纹连接，两侧所述紧固螺杆相互远离的一端与手柄固定连接，所述紧固螺杆远离手柄的一端与夹持板转动连接，以及

冷却组件，所述冷却组件包括布置在真空镀膜箱体内壁表面的多组冷却水管，所述真空镀膜箱体外侧壁表面布置多组与冷却水管连通的循环水管，所述循环水管间设置制冷箱，所述制冷箱用于对循环水管进行冷却，制冷箱外侧设置循环水泵，所述循环水管与循环水泵连接，所述循环水泵远离制冷箱的一侧与输水管连接。

优选的，所述真空镀膜箱体内还设置有升降部件，所述升降部件用于推动夹持后的工件在真空镀膜箱体内竖直方向上下移动，所述升降部件包括相对布置在真空镀膜箱体内的螺杆，所述螺杆两端分别与真空镀膜箱体内壁转动连接，所述螺杆表面设置螺母，两侧所述螺杆顶部末端贯穿真空镀膜箱体顶壁并通过皮带以及皮带轮传动连接，所述真空镀膜箱体顶壁表面固定安装驱动电机，所述驱动电机输出端与主齿轮固定连接，与驱动电机同侧的所述螺杆顶部末端固定安装副齿轮，所述副齿轮与主齿轮啮合，两侧所述螺母与支板固定连接。

优选的，所述真空镀膜箱体内壁表面还设置有散热壳，所述冷却水管安装在散热壳内，所述散热壳朝向夹持组件的一侧表面均匀设置多组散热孔。

优选的，所述支板下方通过连杆与基板固定连接，所述支板间设置通槽，所述基板表面安装第一冷凝箱，用于对支板表面夹持后的工件进行初步冷却降温。

优选的，所述真空镀膜箱体内底壁两侧相对布置电动马达，所述电动马达输出端与叶片固定连接，所述基板表面均匀布置多组散热条孔。

优选的，所述真空镀膜箱体与箱门转动连接，箱门用于对真空镀膜箱体进行密封，所述箱门内侧壁表面竖直方向相对布置第二冷凝箱，用于在侧面方向对工件进行冷却降温，两侧所述第二冷凝箱间设置加热器。

优选的，所述箱门外侧壁表面设置观测窗口，所述箱门外表面还固定安装有把手。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：