[实用新型]一种掩膜板张网装置

权利要求书

1.一种掩膜板张网装置，包括用于夹持掩膜条两端的夹持机构和张网对位机构，张网对位机构用于将发生形变的掩膜条与掩膜框进行张网对位，其特征在于：所述掩膜框对应掩膜条两端设有凹槽，掩膜条两端通过压紧机构可调节固定在凹槽内，压紧机构包括由下至上依序连接的压紧件、固定杆、动力机构，所述压紧件长度大于掩膜条宽度，压紧件对应掩膜框的凹槽设置，压紧件由所述固定杆连接动力机构。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜板张网装置，其特征在于：所述掩膜框两端之间至少设有一组压紧机构设在掩膜框两端之间。

3.根据权利要求1所述的一种掩膜板张网装置，其特征在于：所述压紧件为压辊或椭轮。

4.根据权利要求1所述的一种掩膜板张网装置，其特征在于：所述掩膜板张网装置还包括褶皱监测装置，所述褶皱监测装置滑动设在掩模框上方并平行掩膜框端面，所述褶皱监测装置包括依次连接的声波发射端、声波接收端及计算单元。

5.根据权利要求1-4任意一种掩膜板张网装置，其特征在于：所述掩膜条两端通过掩膜框两端上方压紧机构可调节压进所述凹槽内后，对应焊接在掩膜框上。

6.根据权利要求5所述的一种掩膜板张网装置，其特征在于：所述掩膜框两端之间对应所述压紧机构设有掩膜杆，所述掩膜杆设有凹槽，所述掩膜条两端通过压紧机构将掩膜条压进所述凹槽内后，对应焊接在掩膜框上。

7.根据权利要求1所述的一种掩膜板张网装置，其特征在于：所述凹槽截面为方形或圆弧。