[实用新型]一种掩膜板张网装置

说明书

本实用新型涉及一种掩膜板张网装置，其包括用于夹持掩膜条两端的夹持机构和用于将发生形变的掩膜条与掩膜框进行张网对位的张网对位机构，其还包括压紧机构，所述掩膜框两端的上方各设有一组所述压紧机构，压紧机构包括压紧件、固定杆、动力机构，所述压紧件长度大于掩膜条宽度，压紧件平行掩膜框设置，压紧件两端垂直连接所述固定杆一端，固定杆另一端连接动力机构，采用以上技术方案补偿由于夹爪不平造成掩膜条褶皱，使掩膜条平滑焊接。

技术领域

本实用新型涉及掩模板制作领域，具体涉及了一种掩膜板张网装置。

背景技术

在目前OLED（Organic Light-Emitting display，有机电致发光二极管）制程技术中，用于真空蒸镀的掩模板至关重要，该部件将直接决定OLED产品的显示效果与品质。掩模板（Mask），特别是高精细金属掩模板（Fine metal Mask）用于蒸镀发光层材料，蒸镀成膜时材料蒸汽通过掩模板上精细掩模条上的开口区域精准地沉积到阵列基板上便形成像素图形。在现有掩膜板制造技术中，掩模条被张网机夹爪施加水平张力后通过焊接固定到掩模外框上，组成完整的高精细金属掩膜板，但往往由于夹爪水平状况欠佳导致张网时掩膜条起皱（wrinkle），且夹爪本身水平度及多个夹爪间平行度等不易调整，需要不定期校正；张网褶皱大都会导致掩膜条开孔位置偏移及精度降低，且大尺寸掩膜板往往下垂量大，蒸镀过程中，均会造成玻璃基板与掩膜板切合不良，继而出现像素点混色、阴影（shadow）过大、面板显示均一性差等问题，造成产品良率降低。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种补偿由于夹爪不平造成掩膜条褶皱，使掩膜条平滑焊接的一种掩膜板张网装置。

本实用新型的一种掩膜板张网装置，采用以下技术方案：包括用于夹持掩膜条两端的夹持机构和张网对位机构，张网对位机构用于将发生形变的掩膜条与掩膜框进行张网对位，所述掩膜框对应掩膜条两端设有凹槽，掩膜条两端通过压紧机构可调节固定在凹槽内，压紧机构包括由下至上依序连接的压紧件、固定杆、动力机构，所述压紧件长度大于掩膜条宽度，压紧件对应掩膜框的凹槽设置，压紧件由所述固定杆连接动力机构。

进一步，所述掩膜框两端之间至少设有一组压紧机构设在掩膜框两端之间。

进一步，所述压紧件为压辊或椭轮。

进一步，所述掩膜板张网装置还包括褶皱监测装置，所述褶皱监测装置滑动设在掩模框上方并平行掩膜框端面，所述褶皱监测装置包括依次连接的声波发射端、声波接收端及计算单元。

进一步，所述掩膜条两端通过掩膜框两端上方压紧机构可调节压进所述凹槽内后，对应焊接在掩膜框上。

进一步，所述掩膜框两端之间对应所述压紧机构设有掩膜杆，所述掩膜杆设有凹槽，所述掩膜条两端通过压紧机构将掩膜条压进所述凹槽内后，对应焊接在掩膜框上。

进一步，所述掩膜框两端之间对应所述压紧机构设有掩膜杆，所述掩膜杆设有凹槽，所述掩膜条两端通过压紧机构将掩膜条压进所述凹槽内后，对应焊接在掩膜框上。

进一步，所述凹槽截面为方形或圆弧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、采用压紧机构补偿由于夹爪不平造成掩膜条褶皱，使掩膜条平滑焊接；

2、采用褶皱监测装置扫描掩膜条，实时输出掩膜条褶皱情况，以检测掩膜条与掩膜框是否完全贴合；

3、掩膜框上设有凹槽，利于压紧机构下压，使掩膜条贴紧掩膜框且留余量供补偿掩膜条偏移；

4、在掩膜框上两端间对应压紧机构设有掩膜杆，使传统单一掩膜框镂空区域分割成多个子区域，且掩膜条张网掩膜框和掩膜杆对应压紧机构设有凹槽，避免蒸镀过程中掩模条下垂量过大或开孔的位置偏出现偏移及精度降低，造成像素点混色现象严重、阴影过大、面板显示均一性差等问题，应用大尺寸掩膜板张网。