[实用新型]一种砷化镓制备用尾气过滤装置

权利要求书

1.一种砷化镓制备用尾气过滤装置，包括机架，其特征在于：所述机架上固定有第一安装筒和第二安装筒，所述第一安装筒和第二安装筒内可拆卸安装有滤芯筒，所述第一安装筒和第二安装筒的一端均设置有与滤芯筒内孔联通的进气口，该进气口通过进气连通管联通，该进气连通管上设置有进气管接口，所述第一安装筒和第二安装筒的筒身均设置有出气口，该出气口之间通过排气连通管联通，该排气连通管上设置有排气管接口，所述第一安装筒、第二安装筒、进气连通管、排气连通管的外部均包裹有加热保温装置。

2.如权利要求1所述的一种砷化镓制备用尾气过滤装置，其特征在于：所述第一安装筒和第二安装筒的结构相同，所述第一安装筒包括第一筒体，所述进气口设置于第一筒体的一端，所述第一筒体的另一端设置有放入口，所述放入口处铰接有第一筒盖，所述滤芯筒插入到所述第一筒体内且由第一筒盖压紧固定。

3.如权利要求2所述的一种砷化镓制备用尾气过滤装置，其特征在于：所述第一筒体上位于进气口处设置有进气密封管段，所述进气密封管段插入所述滤芯筒的内孔内与滤芯筒内孔密封。

4.如权利要求3所述的一种砷化镓制备用尾气过滤装置，其特征在于：所述滤芯筒包括滤芯筒本体，所述滤芯筒本体的内孔为盲孔，所述滤芯筒的盲端设置有把手。

5.如权利要求4所述的一种砷化镓制备用尾气过滤装置，其特征在于：所述滤芯筒本体的内孔的开口端的内孔沿设置有与进气密封管段密封配合的配合斜面。

6.如权利要求5所述的一种砷化镓制备用尾气过滤装置，其特征在于：所述滤芯筒的盲端还设置有十字形的加强杆。

7.如权利要求6所述的一种砷化镓制备用尾气过滤装置，其特征在于：所述机架包括由型钢焊接而成的长方体框架结构，所述长方体框架上设置有支撑梁，所述第一安装筒和第二安装筒焊接固定于所述支撑梁上。

8.如权利要求7所述的一种砷化镓制备用尾气过滤装置，其特征在于：所述长方体框架的底部设置有万向轮。

9.如权利要求8所述的一种砷化镓制备用尾气过滤装置，其特征在于：所述加热保温装置为电加热棉。