[实用新型]一种砷化镓制备用尾气过滤装置

说明书

本实用新型公开了一种砷化镓制备用尾气过滤装置，包括机架，所述机架上固定有第一安装筒和第二安装筒，所述第一安装筒和第二安装筒内可拆卸安装有滤芯筒，所述第一安装筒和第二安装筒的一端均设置有与滤芯筒内孔联通的进气口，该进气口通过进气连通管联通，该进气连通管上设置有进气管接口，所述第一安装筒和第二安装筒的筒身均设置有出气口，该出气口之间通过排气连通管联通，该排气连通管上设置有排气管接口，所述第一安装筒、第二安装筒、进气连通管、排气连通管的外部均包裹有加热保温装置。该尾气过滤装置能够更好处理砷和磷，减少清理的频率。

技术领域

本实用新型涉及一种尾气过滤装置，尤其涉及一种砷化镓制备设备上使用的尾气过滤装置。

背景技术

在砷化镓制备的过程中，排出的尾气中含有有毒的砷和磷，需要对其尾气的砷和磷进行过滤后在通过后续的燃烧系统燃烧。而目前的尾气过滤装置主要是包括机架，机架上安装有串联的砷过滤筒和磷收集筒，其中砷过滤主要采用滤筒过滤，而磷收集筒则主要是通过冷却的方式使气态的磷温度降低。然而这种尾气过滤装置存在以下缺点：1、目前的这种过滤装置磷的收集过滤和砷的过滤时间并不统一，磷冷却过滤收集后清理的时间更短，因此，一旦磷收集满了就需要及时清理，因此，蒙圈的过滤设备清理频繁，工人的劳动强度大；2、目前的尾气过滤装置清理非常不方便，整个滤芯的拆卸非常麻烦，由于该砷和磷为有毒物质，因此在清理时时将整个过滤筒拆卸，然后在水面下清理和清洗，这样频繁的清理过滤装置会增加工人的中毒风险，对工人的身体造成威胁。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种砷化镓制备设备上使用的尾气过滤装置，该尾气过滤装置能够更好处理砷和磷，减少清理的频率。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种砷化镓制备用尾气过滤装置，包括机架，所述机架上固定有第一安装筒和第二安装筒，所述第一安装筒和第二安装筒内可拆卸安装有滤芯筒，所述第一安装筒和第二安装筒的一端均设置有与滤芯筒内孔联通的进气口，该进气口通过进气连通管联通，该进气连通管上设置有进气管接口，所述第一安装筒和第二安装筒的筒身均设置有出气口，该出气口之间通过排气连通管联通，该排气连通管上设置有排气管接口，所述第一安装筒、第二安装筒、进气连通管、排气连通管的外部均包裹有加热保温装置。

作为一种优选的方案，所述第一安装筒和第二安装筒的结构相同，所述第一安装筒包括第一筒体，所述进气口设置于第一筒体的一端，所述第一筒体的另一端设置有放入口，所述放入口处铰接有第一筒盖，所述滤芯筒插入到所述第一筒体内且由第一筒盖压紧固定。

作为一种优选的方案，所述第一筒体上位于进气口处设置有进气密封管段，所述进气密封管段插入所述滤芯筒的内孔内与滤芯筒内孔密封。

作为一种优选的方案，所述滤芯筒包括滤芯筒本体，所述滤芯筒本体的内孔为盲孔，所述滤芯筒的盲端设置有把手。

作为一种优选的方案，所述滤芯筒本体的内孔的开口端的内孔沿设置有与进气密封管段密封配合的配合斜面。

作为一种优选的方案，所述滤芯筒的盲端还设置有十字形的加强杆。

作为一种优选的方案，所述机架包括由型钢焊接而成的长方体框架结构，所述长方体框架上设置有支撑梁，所述第一安装筒和第二安装筒焊接固定于所述支撑梁上。

作为一种优选的方案，所述长方体框架的底部设置有万向轮。

作为一种优选的方案，所述加热保温装置为电加热棉。