[实用新型]一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手

权利要求书

1.一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手，其特征是包括：

垂直回转及水平移动机构，其含：在水平的固定底板(27)的底面和支撑板的顶面上，设有固定底板直线导轨滑块机构以及固定底板丝杆螺母驱动直线运动机构，使得固定底板与支撑板可相对来回移动，支撑板底面又固定在一带驱动机构的垂直回转及水平移动机构垂直回转轴(7)上，使得水平移动机构及其上搭载组件整体可垂直回转；

移动支架组件，其含：一支承架(19)，固定竖立在所述固定底板(27)上，支承架(19)为桁架式结构，其前立面有竖立的前安装板(19-1)，前安装板中部安装有中心板组件，其包括：竖立且前后平行的矩形的中心板前立板(24)和中心板后立板(24-1)之间以横板(24-2)固连，中心板前立板和中心板后立板分别位于前安装板的前、后方，中心板前立板的前面竖中线的上下各设有一垂直凸出的导向柱(25)，中心板后立板的前面和前安装板的后面上，设有水平的后立板直线导轨滑块机构以及气缸驱动直线运动机构，使得中心板后立板和与其固连的前立板一起相对于前安装板可相对左右移动；

上下移动板机构，其含：位于同一平面内、上下竖立安装的上移动板(15)和下移动板(18)，上移动板的上端部设有前伸的上爪块锁板(14)，其前端固定着向下的上爪块(13)；对应地，下移动板的下端部设有前伸的下爪块锁板(17)，其前端固定着向上的下爪块(16)；上移动板的下部开有从左至右倾斜向上的长形通孔，长形通孔套在上移动板背后的中心板前立板的导向柱上；上移动板的背后固连两对移动板滑块(23)，分别上下套在两条并排竖立固定在支承架上的垂直的移动板滑轨(22)上，使得并限制上移动板可相对支承架上下移动；对称地，下移动板的靠上部开有从左至右倾斜向下的长形通孔，它套在上移动板背后的中心板前立板的另一导向柱上；下移动板靠下部的背后固连两对移动板滑块分别上下套在另外两条并排竖立固定在支承架上的垂直的移动板滑轨上使得并限制下移动板可相对支承架上下移动。

2.根据权利要求1所述的用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手，其特征是：所述的上、下移动板的上、下爪块两者相对上、下移动板的横向中线不对称，下移动板(18)的下爪块(16)离工件挂板(11)的底端距离相对与上移动板近，使得其比上爪块(13)先接触工件挂板。

3.根据权利要求1所述的用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手，其特征是：所述垂直回转及水平移动机构之固定底板直线导轨滑块机构为：固定底板的底面两侧对应固连有直线平行的机械手导轨(28)，与其滑动配合的机械手滑块(29)固定在支撑板(31)顶面。

4.根据权利要求1所述的用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手，其特征是：所述固定底板丝杆螺母驱动直线运动机构为：螺母(34)固定在支撑板(31)顶面，丝杆(35)两端通过固定在固定底板(27)底面的深沟球轴承支承，驱动电机也固定在固定底板底面且其输出轴与丝杆连接。