[实用新型]一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手

说明书

一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手，真空镀膜机内设有相邻的过渡舱及镀膜工艺舱，两者之间设有插板阀分隔；镀膜工艺舱内设有工艺转架，其为一个竖立的多边形柱体壳，固定在工艺转架垂直回转轴上，柱体壳侧面的每一面上设有可钩挂工件挂板的挂钩；过渡舱内设有储备工件挂板梅花转架，其固定在梅花转架垂直回转轴上，梅花转架上设有竖立的工件挂板固定架，工件挂板固定架上可钩挂工件挂板，工件贴在工件挂板外侧；固定架拉出机构，用于将工件挂板固定架沿滑轨拉出梅花转架外；移动传送工件挂板机械手，用于将工件挂板在过渡舱和工艺舱之间来回移动传送。本机械手结构简化、造价降低、使用方便、故障率低。

技术领域

本实用新型涉及一种机械手，具体是涉及一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手。

背景技术

真空镀膜设备的技术发展趋势，一是提高产能和效率，二是提高镀膜产品质量和稳定性。要提高产能和效率，使得设备设计越来越大，装载量越来越多，单只工件挂具也越大、越重；要提高膜层质量和稳定性，除了引入镀膜新技术、新工艺外，一个最基本的要求是控制好炉内镀膜气氛稳定不变，也就是要保证每炉炉内残留气体降低至最少并保持一致性不变。为此，最有效手段是在各炉次镀膜和装卸工件都在真空中进行而不破真空，这样各炉次都在同样真空环境下进行镀膜，炉内气氛不因破真空受大气污染，可保持炉间残留气氛的一致性，这样膜层质量和一致性都会大大提高。

因此，近年来真空镀膜设备的发展一方面是大型化，另一方面是多舱化。多舱配置时，其中镀膜工艺舱室始终保持真空状态，它通过真空阀门与送料舱和出料舱连接，在真空状态下工件从送料舱送入镀膜舱，镀膜工艺完成后，在真空状态把工件移出到出料舱。一方面设备大型化，装挂工件的挂具数量多，挂具体积大，装挂上工件后的挂具重量很重。这些挂具在真空态状下传送转舱，必须靠机械手完成。为适应当前真空镀膜设备的发展趋势，需要研制适合各种用途的真空机械手。这样多舱式镀膜设备又要配置多台机械手，设备很复杂庞大，造价很高昂。

另外，多舱式镀膜机设计往往把送料舱和出料舱分开，分别需要有进料移动架和出料移动架，对应采用多台机械手，这样设计的设备结构复杂、造价高昂、使用不便、故障率高。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题，就是提供一种结构简单造价低、使用方便故障少的用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手。

解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手，其特征是包括：

垂直回转及水平移动机构，其含：在水平的固定底板27的底面和支撑板的顶面上，设有固定板直线导轨滑块机构以及固定板丝杆螺母驱动直线运动机构，使得固定底板与支撑板可相对来回移动，支撑板底面又固定在一带驱动机构的垂直回转及水平移动机构垂直回转轴7上，使得水平移动机构及其上搭载组件整体可垂直回转；

移动支架组件，其含：一支承架19，固定竖立在所述固定底板27上，支承架19为桁架式结构，其前立面有竖立的前安装板19-1，前安装板中部安装有中心板组件，其包括：竖立且前后平行的矩形的中心板前立板24和中心板后立板24-1之间以横板24-2固连，中心板前立板和中心板后立板分别位于前安装板的前后方，中心板前立板的前面竖中线的上下各设有一垂直凸出的导向柱25，中心板后立板的前面和前安装板的后面上，设有水平的后立板直线导轨滑块机构以及气缸驱动直线运动机构，使得中心板后立板和固连的前立板一起相对于前安装板可相对左右移动；