[实用新型]一种测量光学系统MTF的装置有效
| 申请号： | 202122132049.0 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN215811551U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 高霏;彭新雨;高善增;吴昊;何姜;周威 | 申请（专利权）人： | 茂莱（南京）仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211102 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 光学系统 mtf 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种测量光学系统MTF的装置，其特征在于，所述装置包括六轴机械手、内调焦准直仪和待测光学系统；
所述内调焦准直仪固定安装在六轴机械手的法兰盘上，六轴机械手用于调整内调焦准直仪的出瞳处和内调焦准直仪的姿态，六轴机械手的工具控制点设置在内调焦准直仪的出瞳处；
所述内调焦准直仪的出瞳处位于待测光学系统入瞳处，使内调焦准直仪的出瞳处与待测光学系统的入瞳处平行设置，使待测光学系统获取内调焦准直仪的像并进行弧面测量MTF。
2.根据权利要求1所述的一种测量光学系统MTF的装置，其特征在于，所述内调焦准直仪通过调节虚拟工作距离，使虚拟像点在距待测光学系统入瞳所需距离处，从而获得所需距离的像。
3.根据权利要求1所述的一种测量光学系统MTF的装置，其特征在于，内调焦准直仪的像为棋盘格或十字线。
4.根据权利要求1所述的一种测量光学系统MTF的装置，其特征在于，所述内调焦准直仪包括光源、物镜和分划板；
所述内调焦准直仪对准待测光学系统的光学元件，当光源发出的光经过分划板到达物镜，通过改变物镜虚拟工作距离，可以形成与待测光学元件距离不同的虚拟像点，则像的远近根据物镜虚拟工作距离进行调节。
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