[实用新型]一种测量光学系统MTF的装置

说明书

本实用新型提及一种测量光学系统MTF的装置，所述装置包括六轴机械手、内调焦准直仪和待测光学系统；内调焦准直仪固定安装在六轴机械手的法兰盘上，六轴机械手用于调整内调焦准直仪的出瞳处和内调焦准直仪的姿态，六轴机械手的工具控制点设置在内调焦准直仪的出瞳处，内调焦准直仪的出瞳处位于待测光学系统入瞳处，使内调焦准直仪的出瞳处与待测光学系统的入瞳处平行设置；本实用新型利用机械手围绕着工具点做只改变姿态不改变位置变换的特性，和内调焦准直仪可以改变目标像及目标像距的特点，实现了弧面测量的应用场景。

技术领域

本实用新型属于光学设备技术领域，特别是涉及一种测量光学系统MTF的装置。

背景技术

目前测量光学系统的MTF的方法有刀口法、狭缝法、针孔法等，以刀口法为例，在距离光学系统一定距离处贴一张棋盘格，取其中若干个位置点开始测量，棋盘格是个平面，用来测量偏离光学系统成像中心不同距离处的MTF值，MTF为调制传递函数(ModulationTransfer Function)参数，该方法只能用于平面的测量场景中，不能应用在弧面测量的应用场景中，存在局限性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种测量光学系统MTF的装置，利用六轴机械手围绕着工具点做只改变姿态不改变位置变换的特性，和内调焦准直仪可以改变目标像及目标像距的特点，实现了弧面测量的应用场景。

为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种测量光学系统MTF的装置，所述装置包括六轴机械手、内调焦准直仪和待测光学系统。

所述内调焦准直仪固定安装在六轴机械手的法兰盘上，六轴机械手用于调整内调焦准直仪的出瞳处和内调焦准直仪的姿态，六轴机械手的工具控制点设置在内调焦准直仪的出瞳处。

所述内调焦准直仪的出瞳处位于待测光学系统入瞳处，使内调焦准直仪的出瞳处与待测光学系统的入瞳处平行设置，使待测光学系统获取内调焦准直仪的像并进行弧面测量MTF。

进一步地，所述内调焦准直仪通过调节虚拟工作距离，使虚拟像点在距待测光学系统入瞳所需距离处，从而获得所需距离的像。

进一步地，内调焦准直仪的像为棋盘格或十字线。

进一步地，所述内调焦准直仪包括光源、物镜和分划板；

本实用新型的有益效果在于：

(1)机械手精度较高测量更为准确。

(2)可以方便的调整光学系统与像的距离，可以方便的将内调焦准直仪与光学系统调平。

(3)内调焦准直仪可以将像改变成棋盘格或者十字线，这样可以方便的使用刀口法或狭缝法来测量光学系统MTF。

(4)利用机械手围绕着工具点做只改变姿态不改变位置变换的特性，和内调焦准直仪可以改变目标像及目标像距的特点，实现了弧面测量的应用场景。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为本实用新型的测量光学系统MTF的装置结构示意图。

图2为本实用新型的测量光学系统MTF的装置实施例示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。