[实用新型]一种MOCVD设备的操作箱有效
| 申请号： | 202122134728.1 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN215628281U | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 胡国东 | 申请（专利权）人： | 张家港光煌新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/18 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mocvd 设备 操作 | ||
1.一种MOCVD设备的操作箱，包括操作箱体，其特征在于：所述操作箱体的顶部设置有吸气口，所述操作箱体的顶部固定有抽气风机和过滤装置，所述抽气风机的抽气口与吸气口联通，所述操作箱体的侧面底部设置有出气口，所述出气口与所述抽气风机的排气口之间通过连通管道联通，所述过滤装置设置于所述抽气风机的排气口和出气口之间用于过滤颗粒物，所述操作箱体内的底部设置有排气管，所述排气管与所述出气口联通。
2.如权利要求1所述的一种MOCVD设备的操作箱，其特征在于：所述排气管固定于操作箱体内且沿操作箱体的长度方向延伸，所述排气管上设置有若干各个排气孔。
3.如权利要求2所述的一种MOCVD设备的操作箱，其特征在于：所述排气管的横截面为矩形，所述排气管的底面固定在操作箱体的内底面上，所述排气管的其他侧面上均匀的设置有所述排气孔。
4.如权利要求3所述的一种MOCVD设备的操作箱，其特征在于：所述操作箱体的侧壁上设置有分配腔室，所述分配腔室与所述出气口联通，所述排气管的数量为两个，所述排气管均与所述分配腔室联通。
5.如权利要求4所述的一种MOCVD设备的操作箱，其特征在于：所述两个排气管的横截面的面积不同。
6.如权利要求5所述的一种MOCVD设备的操作箱，其特征在于：抽气风机和过滤装置构成了风机过滤机组。
7.如权利要求6所述的一种MOCVD设备的操作箱，其特征在于：所述过滤装置的进风侧和操作箱体内腔之间设置有压差计，所述操作箱体的外侧设置有与压差计电连接的显示屏。
8.如权利要求7所述的一种MOCVD设备的操作箱，其特征在于：所述操作箱体的内腔上部设置有用于固定照明灯的灯罩。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
