[实用新型]一种MOCVD设备的操作箱

说明书

本实用新型公开了一种MOCVD设备的操作箱，包括操作箱体，所述操作箱体的顶部设置有吸气口，所述操作箱体的顶部固定有抽气风机和过滤装置，所述抽气风机的抽气口与吸气口联通，所述操作箱体的侧面底部设置有出气口，所述出气口与所述抽气风机的排气口之间通过连通管道联通，所述过滤装置设置于所述抽气风机的排气口和出气口之间用于过滤颗粒物，所述操作箱体内的底部设置有排气管，所述排气管与所述出气口联通。该操作箱能够进一步除尘，使箱体内的灰尘颗粒物更少。

技术领域

本实用新型涉及一种操作箱，用于MOCVD设备上。

背景技术

MOCVD设备的操作箱是行业中手套箱的一个组成部分，手套箱是由操作箱、过渡舱、净化系统三部分组成，整个系统主要是净化系统的净化原理去除密闭的操作箱的箱体内的颗粒物、O₂、H₂O等杂质，实现无水、无氧、无尘的超纯操作环境。然目前的这种系统由于空气的循环流动路线距离比较长，因此，现在的操作箱内的灰尘等级基本上是在万级，是无法满足于一些要求灰尘等级更严的生产工艺。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种MOCVD设备的操作箱，该操作箱能够进一步除尘，使箱体内的灰尘颗粒物更少。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种MOCVD设备的操作箱，包括操作箱体，所述操作箱体的顶部设置有吸气口，所述操作箱体的顶部固定有抽气风机和过滤装置，所述抽气风机的抽气口与吸气口联通，所述操作箱体的侧面底部设置有出气口，所述出气口与所述抽气风机的排气口之间通过连通管道联通，所述过滤装置设置于所述抽气风机的排气口和出气口之间用于过滤颗粒物，所述操作箱体内的底部设置有排气管，所述排气管与所述出气口联通。

作为一种优选的方案，所述排气管固定于操作箱体内且沿操作箱体的长度方向延伸，所述排气管上设置有若干各个排气孔。

作为一种优选的方案，所述排气管的横截面为矩形，所述排气管的底面固定在操作箱体的内底面上，所述排气管的其他侧面上均匀的设置有所述排气孔。

作为一种优选的方案，所述操作箱体的侧壁上设置有分配腔室，所述分配腔室与所述出气口联通，所述排气管的数量为两个，所述排气管均与所述分配腔室联通。

作为一种优选的方案，所述两个排气管的横截面的面积不同。

作为一种优选的方案，抽气风机和过滤装置构成了风机过滤机组。

作为一种优选的方案，所述过滤装置的进风侧和操作箱体内腔之间设置有压差计，所述操作箱体的外侧设置有与压差计电连接的显示屏。

作为一种优选的方案，所述操作箱体的内腔上部设置有用于固定照明灯的灯罩。

采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于操作箱，包括操作箱体，所述操作箱体的顶部设置有吸气口，所述操作箱体的顶部固定有抽气风机和过滤装置，所述抽气风机的抽气口与吸气口联通，所述操作箱体的侧面底部设置有出气口，所述出气口与所述抽气风机的排气口之间通过连通管道联通，所述过滤装置设置于所述抽气风机的排气口和出气口之间用于过滤颗粒物，所述操作箱体内的底部设置有排气管，所述排气管与所述出气口联通，因此，该操作箱的内部气体从顶部被抽出，经过过滤装置过滤后，从底部的排气管排入到操作箱体内，形成了一套自循环的净化，气体由下而上流动，就会在操作箱内形成流动的气幕，从而带动操作箱内部杂质的流动，进一步减少颗粒物存留的死角，减少了颗粒物的含量。

又由于所述排气管固定于操作箱体内且沿操作箱体的长度方向延伸，所述排气管上设置有若干各个排气孔，该排气管上设置了多个排气孔，这样使气体会形成更细小的气流，从而气幕也更均匀。