[实用新型]一种真空镀膜机有效
| 申请号： | 202122154588.4 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN215713353U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 周喜金 | 申请（专利权）人： | 东莞市优耐特纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 张勋 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 | ||
1.一种真空镀膜机，其特征在于：包括镀膜机本体和冷却装置，所述镀膜机本体设有内腔壁和外腔壁，所述内腔壁外侧设有用于实现于外腔壁固定连接的连接条，所述内腔壁与外腔壁之间设有空腔，所述外腔壁设有输出阀、输入阀和真空泵，所述输出阀和输入阀均与空腔连通，所述真空泵用于实现对空腔内的气压控制，所述冷却装置包括第一管道、第二管道、冷却箱、冷液箱和水泵，所述第一管道与输出阀连通，所述第一管道在远离输出阀的一端与冷却箱连通，所述冷却箱与冷液箱连通，所述冷液箱与第二管道连通，所述第二管道在远离冷液箱的一端与输入阀连通，所述水泵用于实现冷却装置的液体流动循环。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述内腔壁在靠近外腔壁的一面设有用于实现导热作用的铝质壁。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述输出阀设于外腔壁顶面，所述输入阀设于外腔壁底面。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述外腔壁顶面设有换气阀，所述换气阀穿过内腔壁，所述换气阀用于实现镀膜机本体内的气压调节。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述外腔壁侧面设有观察窗。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述外腔壁还设有用于控制真空泵运作的控制面板，所述真空泵在与空腔连接处设有用于实现密封作用的密封阀。
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