[实用新型]一种真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括镀膜机本体和冷却装置，所述镀膜机本体设有内腔壁和外腔壁，所述内腔壁外侧设有用于实现于外腔壁固定连接的连接条，所述内腔壁与外腔壁之间设有空腔，所述外腔壁设有输出阀、输入阀和真空泵，所述输出阀和输入阀均与空腔连通，所述真空泵用于实现对空腔内的气压控制，所述冷却装置包括第一管道、第二管道、冷却箱、冷液箱和水泵，所述第一管道与输出阀连通，所述第一管道在远离输出阀的一端与冷却箱连通，所述冷却箱与冷液箱连通，所述冷液箱与第二管道连通，所述第二管道在远离冷液箱的一端与输入阀连通，所述水泵用于实现冷却装置的液体流动循环，通过设置空腔可以同时实现隔热和散热两种技术效果。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种；由于目前镀膜机内的冷却结构比较单一，冷却效果不佳，导致镀膜机内的部件使用寿命较短。

发明内容

为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供一种真空镀膜机，能有效的解决背景技术提出的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种真空镀膜机，包括镀膜机本体和冷却装置，所述镀膜机本体设有内腔壁和外腔壁，所述内腔壁外侧设有用于实现于外腔壁固定连接的连接条，所述内腔壁与外腔壁之间设有空腔，所述外腔壁设有输出阀、输入阀和真空泵，所述输出阀和输入阀均与空腔连通，所述真空泵用于实现对空腔内的气压控制，所述冷却装置包括第一管道、第二管道、冷却箱、冷液箱和水泵，所述第一管道与输出阀连通，所述第一管道在远离输出阀的一端与冷却箱连通，所述冷却箱与冷液箱连通，所述冷液箱与第二管道连通，所述第二管道在远离冷液箱的一端与输入阀连通，所述水泵用于实现冷却装置的液体流动循环。

优选的，所述内腔壁在靠近外腔壁的一面设有用于实现导热作用的铝质壁。

优选的，所述输出阀设于外腔壁顶面，所述输入阀设于外腔壁底面。

优选的，所述外腔壁顶面设有换气阀，所述换气阀穿过内腔壁，所述换气阀用于实现镀膜机本体内的气压调节。

优选的，所述外腔壁侧面设有观察窗。

优选的，所述外腔壁还设有用于控制真空泵运作的控制面板，所述真空泵在与空腔连接处设有用于实现密封作用的密封阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过设置空腔可以同时实现隔热和散热两种技术效果，在进行镀膜作业时，真空泵将空腔内的空气抽出，使空腔内处于真空状态，使外腔壁的温度较低，提高生产安全性，且可以在隔热的同时起到对镀膜机本体内的保温作用，从而提高升温速度，达到节能环保的效果；在进行冷却作业时，水泵将冷却液自第二管道，通过输入阀进入空腔内，在注满空腔后冷却液自输出阀进入第一管道，经过冷却箱冷却后回到冷液箱内，提高冷却效率，且由于设有换气阀可以在冷却作业时打开换气阀，避免因镀膜机本体内温度降低后气压降低导致的难以开启，同时通过设置铝壁可以使冷却液不与内腔壁直接接触，延长内腔壁的使用寿命。

附图说明

图1为一种真空镀膜机结构示意图之一。

图2为一种真空镀膜机结构示意图之二。

图中标号：

1-镀膜机本体、11-内腔壁、12-外腔壁、121-输出阀、122-输入阀、123-换气阀、124-观察窗、13-连接条、14-空腔、2-冷却装置、21-第一管道、22-第二管道、23-冷却箱、24-冷液箱、25-水泵、3-真空泵、31-控制面板、32-密封阀、4-铝质壁。

具体实施方式