[实用新型]一种带有蒸发孔的石墨舟有效
| 申请号： | 202122170891.3 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN215896337U | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 陈道理;袁开伦;屈佳佳;陈金红;刘娴 | 申请（专利权）人： | 盱眙新远光学科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
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| 地址： | 211700 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 蒸发 石墨 | ||
1.一种带有蒸发孔的石墨舟，包括石墨舟片(1)，其特征在于：多个所述石墨舟片(1)的前表面均开设有多个承载位(2)，多个所述承载位(2)的前表面均固定有隔热垫(3)，多个所述承载位(2)的前表面均开设有多个蒸发孔(4)。
2.根据权利要求1所述的一种带有蒸发孔的石墨舟，其特征在于：多个所述石墨舟片(1)的前表面靠近两侧底部边缘处均开设有第一卡点(5)，多个所述第一卡点(5)共分为两组，每组多个所述第一卡点(5)的内表壁之间活动连接有第一陶瓷杆(6)。
3.根据权利要求2所述的一种带有蒸发孔的石墨舟，其特征在于：所述第一陶瓷杆(6)包括一号连接杆(601)，多个所述一号连接杆(601)的一侧外表面均开设有凹槽(605)，多个所述凹槽(605)的内表壁均滑动连接有限位板(607)，多个所述限位板(607)的一侧外表面均固定有推杆(606)，且推杆(606)的一端延伸至凹槽(605)的外部。
4.根据权利要求3所述的一种带有蒸发孔的石墨舟，其特征在于：多个所述推杆(606)的一端均固定有第一磁铁(603)，多个所述第一磁铁(603)的一侧外表面均固定有二号连接杆(602)，多个所述一号连接杆(601)的一侧外表面均固定有第二磁铁(604)，多个所述第一磁铁(603)和多个所述第二磁铁(604)共分为多组，每组一个所述第一磁铁(603)和一个所述第二磁铁(604)的一侧外表面之间磁性吸附。
5.根据权利要求2所述的一种带有蒸发孔的石墨舟，其特征在于：所述第一陶瓷杆(6)的外表面等距活动套设有多个陶瓷圈(9)，且陶瓷圈(9)的外表面与石墨舟片(1)的外表面活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种带有蒸发孔的石墨舟，其特征在于：多个所述石墨舟片(1)的前表面靠近顶部边缘处均开设有多个第二卡点(7)，多个所述第二卡点(7)共分为多组，每组多个所述第二卡点(7)的内表壁之间活动连接有第二陶瓷杆(8)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
