[实用新型]一种单晶炉加料系统有效
申请号: | 202122189713.5 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN215713521U | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 刘杰;王鑫;黄剑雄;严斌成;沈吟青;华焱 | 申请(专利权)人: | 无锡松瓷机电有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 32369 | 代理人: | 孙际德 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 加料 系统 | ||
1.一种单晶炉加料系统,其特征在于,所述单晶炉加料系统包括加料机、加料机定位装置、波纹管及波纹管连接机构,其中:
所述加料机上设置有出料口,所述出料口处设置有向外伸出所述出料口的加料槽;
所述加料机支撑在所述加料机定位装置上,所述加料机定位装置用于实施对所述加料机的位置调整;
所述波纹管的头部设置有波纹管头部法兰,所述波纹管的尾部设置有波纹管尾部法兰,其中,所述波纹管尾部法兰连接在所述加料机的所述出料口上;
所述波纹管连接机构用于将所述波纹管头部法兰连接至单晶炉加料口法兰上,所述加料机的所述加料槽穿过所述波纹管后将硅料加入至单晶炉内。
2.如权利要求1所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述加料机定位装置包括支撑机构及滑动机构,其中:
所述支撑机构包括支撑框架、第一导向部及第二导向部,其中,所述第一导向部设置在所述支撑框架的第一侧边,所述第二导向部设置在所述支撑框架的与所述第一侧边相对的第二侧边;
所述滑动机构包括第一滑动件和第二滑动件,其中:所述第一滑动件被配置为能与所述第一导向部对接并沿所述第一导向部滑动,所述第二滑动件被配置为能与所述第二导向部对接并沿所述第二导向部滑动;
所述加料机经所述第一滑动件、所述第二滑动件滑动支撑于所述第一导向部和所述第二导向部上,并在所述第一滑动件、所述第二滑动件的带动下滑动至预定位置。
3.如权利要求2所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述第一导向部、所述第二导向部均包括底板及设置在所述底板上的导轨;
所述第一滑动件、所述第二滑动件均包括安装支架及导轮,其中,所述安装支架的顶部设置有用于连接所述加料机的底板的连接机构,所述导轮设置在所述安装支架上,所述导轮上形成有与所述导轨匹配的凹槽,所述导轮经所述凹槽跨接于所述导轨上并沿所述导轨滑动。
4.如权利要求2所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述加料机定位装置还包括设置在加料工位处的定位销机构,所述定位销机构包括至少两个第一定位销组件和至少两个第二定位销组件;
所述支撑机构平移至所述加料工位时,所述第一导向部支撑在所述第一定位销组件上,所述第二导向部支撑在各所述第二定位销组件上,所述第一导向部和所述第二导向部处于同一预定高度。
5.如权利要求1所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述波纹管连接机构包括锁紧抱箍,所述锁紧抱箍上设置有若干锁紧组件,所述锁紧抱箍抱紧时,所述锁紧组件将所述波纹管头部法兰锁紧至所述单晶炉加料口法兰上,所述锁紧抱箍张开时,所述锁紧组件释放所述波纹管头部法兰及所述单晶炉加料口法兰。
6.如权利要求5所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述锁紧组件包括连接在所述锁紧抱箍的两侧侧壁上的第一锁紧部和第二锁紧部,所述第一锁紧部和所述第二锁紧部之间形成锁紧槽;
所述锁紧抱箍抱紧时,所述波纹管头部法兰和所述单晶炉加料口法兰卡入至所述锁紧槽内;
所述锁紧抱箍张开时,所述波纹管头部法兰和所述单晶炉加料口法兰脱离所述锁紧槽。
7.如权利要求5所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述波纹管连接机构还包括支撑抱箍、联动螺杆及若干支撑杆,其中:
所述联动螺杆连接所述锁紧抱箍和所述支撑抱箍,所述锁紧抱箍经所述联动螺杆带动所述支撑抱箍同步抱紧及张开;
各所述支撑杆穿接于所述支撑抱箍上并被配置为能沿波纹管的延伸方向伸缩;
所述支撑杆的第一端连接在所述锁紧组件上,所述锁紧抱箍带动所述支撑抱箍抱紧后,所述支撑杆伸长,所述支撑杆的第二端抵住所述波纹管尾部法兰;
或者,
所述支撑杆的第一端和第二端均为自由端,所述锁紧抱箍带动所述支撑抱箍抱紧后,所述支撑杆伸长,所述支撑杆的第一端和第二端分别抵住所述波纹管头部法兰和波纹管尾部法兰。
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