[实用新型]一种单晶炉加料系统

说明书

本实用新型提供了一种单晶炉加料系统，包括加料机、加料机定位装置、波纹管及波纹管连接机构，其中：加料机上设置有出料口，出料口处设置有向外伸出出料口的加料槽；加料机支撑在加料机定位装置上，加料机定位装置用于实施对加料机的位置调整及定位；波纹管的头部设置有波纹管头部法兰，波纹管的尾部设置有波纹管尾部法兰，其中，波纹管尾部法兰连接在加料机的出料口上；波纹管连接机构用于将波纹管头部法兰连接至单晶炉加料口法兰上，加料机的加料槽穿过波纹管后将硅料加入至单晶炉内。本实用新型提供的单晶炉加料系统，加料机支撑、定位在加料机定位装置，通过加料机定位装置，能够方便地实施对加料机的位置调节。

技术领域

本实用新型涉及硅棒生产领域，具体地说是一种单晶炉加料系统。

背景技术

直拉法生产单晶硅是目前单晶硅生产最广泛的应用技术，在生产单晶硅的过程中，需要定期向单晶炉内加入硅料。

在实施加料前，需要先将加料机定位至靠近单晶炉的加料工位处，然后通过波纹管将加料机与单晶炉对接。传统的加料系统存在如下问题：加料机被支撑、定位在支撑销组件上，完成加料机定位后，加料机的位置难以被调节。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种单晶炉加料系统，其采用如下技术方案：

一种单晶炉加料系统，包括加料机、加料机定位装置、波纹管及波纹管连接机构，其中：

加料机上设置有出料口，出料口处设置有向外伸出出料口的加料槽；

加料机支撑在加料机定位装置上，加料机定位装置用于实施对加料机的位置调整；

波纹管的头部设置有波纹管头部法兰，波纹管的尾部设置有波纹管尾部法兰，其中，波纹管尾部法兰连接在加料机的出料口上；

波纹管连接机构用于将波纹管头部法兰连接至单晶炉加料口法兰上，加料机的加料槽穿过波纹管后将硅料加入至单晶炉内。

本实用新型提供的单晶炉加料系统，加料机支撑、定位在加料机定位装置，通过加料机定位装置，能够方便地实施对加料机的位置调节。此外，通过设置波纹管连接机构，本实用型新型能够实现加料机与单晶炉的快速对接，从而提升加料效率。

在一些实施例中，加料机定位装置包括支撑机构及滑动机构，其中：支撑机构包括支撑框架、第一导向部及第二导向部，其中，第一导向部设置在支撑框架的第一侧边，第二导向部设置在支撑框架的与第一侧边相对的第二侧边；滑动机构包括第一滑动件和第二滑动件，其中：第一滑动件被配置为能与第一导向部对接并沿第一导向部滑动，第二滑动件被配置为能与第二导向部对接并沿第二导向部滑动；加料机经第一滑动件、第二滑动件滑动支撑于第一导向部和第二导向部上，并在第一滑动件、第二滑动件的带动下滑动至预定位置。

提供了一种结构简单、易于操作的加料机定位装置，首先将第一滑动件、第二滑动件预先安装在加料机的底板上，并将支撑机构移动至加料工位处，调制好支撑机构的位置后，将加料机转运至支撑机构上方并使得第一滑动件、第二滑动件分别对准支撑机构的第一导向部、第二导向部，放下加料机使得第一滑动件、第二滑动件分别与第一导向部、第二导向部对接。推动加料机沿第一导向部、第二导向部滑动即能快速、方便地将加料机滑动至预定位置，从而实施对加料机的位置调整。

在一些实施例中，第一导向部、第二导向部均包括底板及设置在底板上的导轨；第一滑动件、第二滑动件均包括安装支架及导轮，其中，安装支架的顶部设置有用于连接加料机的底板的连接机构，导轮设置在安装支架上，导轮上形成有与导轨匹配的凹槽，导轮经凹槽跨接于导轨上并沿导轨滑动。

导轮上设置有凹槽，定位过程中，导轮经凹槽快骑跨至导轨上，从而提升了第一滑动件、第二滑动件与第一导向部、第二导向部的对接效果。