[实用新型]硅片花篮慢提预脱水结构有效
申请号: | 202122195985.6 | 申请日: | 2021-09-12 |
公开(公告)号: | CN215911406U | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | 梁建;殷志江 | 申请(专利权)人: | 釜川(无锡)智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 | 代理人: | 周庆佳 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 花篮 慢提预 脱水 结构 | ||
本实用新型公开硅片花篮慢提预脱水结构,涉及光伏设备领域。该硅片花篮慢提预脱水结构,包括:预脱水槽,预脱水槽的内部设置有花篮,预脱水槽的背面设置有机械手滑轨,且机械手滑轨传动连接有搬运机械手;储液副槽,储液副槽的侧面固定连接有抽水管,抽水管的端部固定连接有磁力泵,磁力泵的出水口固定连接有回流管,回流管的顶端与预脱水槽固定连接,且回流管装配有单向阀,预脱水槽与储液副槽之间固定连接有排水管。该硅片花篮慢提预脱水结构,实现花篮及硅片的慢排脱水,以及储液副槽的设置可有效避免搬运机械手挂架带液问题,接液材质及预脱水槽上方无任何金属,因此无金属离子污染风险。
技术领域
本实用新型涉及光伏设备技术领域,具体为硅片花篮慢提预脱水结构。
背景技术
光伏电池片(硅片)在进行槽式湿法清洗时,硅片经制绒工艺后需对其进行烘干,然后再流入下道工序,为保证烘干效果,需对硅片及花篮进行预脱水,目前常用慢提方式为电机带动慢提架缓慢上下运动:搬运机械手放置花篮于慢提架上,到位后电机带动慢提架缓慢下降,液面浸没花篮后,再由电机带动缓慢上升。该方式主要存在以下劣势:
①机械结构较为复杂。为保证机械运动的稳定性及定位的准确性,需由丝杆、导轨滑块等结构带动慢提架往复运动;
②金属离子污染风险。因设备工艺含有HF、HCl或HNO3等强腐蚀性、易挥发酸,易腐蚀工件,进而对硅片造成金属离子污染;
③较高的成本。因慢提架为悬臂结构,加之长期浸泡于热水中,为控制其变形量,保证设备运行的稳定性,除整体结构采用PVDF材质外,仍需对配重金属杆进行PVDF包塑处理。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型公开了硅片花篮慢提预脱水结构,以解决上述背景技术中提出的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:硅片花篮慢提预脱水结构,包括:
预脱水槽,所述预脱水槽的内部设置有支撑架,支撑架上放置有花篮,所述花篮的内部插接有多个硅片,所述预脱水槽的背面设置有机械手滑轨,且机械手滑轨传动连接有搬运机械手,所述搬运机械手处于预脱水槽的上方;
储液副槽,所述储液副槽的侧面固定连接有抽水管,所述抽水管的端部固定连接有磁力泵,所述磁力泵的出水口固定连接有回流管,所述回流管的顶端与预脱水槽固定连接,且所述回流管装配有单向阀,所述预脱水槽与储液副槽之间固定连接有排水管。
优选的,所述排水管的顶端处于回流管顶端的上方,所述排水管的底端处于抽水管端部的上方。
优选的,所述预脱水槽的底部固定连接有第一排液管,所述储液副槽侧面的底部固定连接有第二排液管,且所述排水管、第一排液管和第二排液管均装配有电磁阀。
优选的,所述储液副槽侧面的顶部固定连接有溢流管,所述溢流管的底端与第二排液管固定连接,且所述溢流管的内部与第二排液管的内部相连通。
优选的,所述储液副槽的外壁上固定连接有液位管,所述液位管的顶端与底端均与储液副槽的内部相连通。
本实用新型公开了硅片花篮慢提预脱水结构,其具备的有益效果如下:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造