[实用新型]一种调节成像光路夹角的改进装置有效
申请号: | 202122196344.2 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN215729279U | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 肖燕青;王方江;符祥震;陈海巍;程珂 | 申请(专利权)人: | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人: | 张勇 |
地址: | 221300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调节 成像 夹角 改进 装置 | ||
1.一种调节成像光路夹角的改进装置,其特征在于,所述改进装置包括:DMD承载台(1),夹角旋转块(2)和底座(3),三者均为中空结构以便光路通过;其中,所述底座(3)和所述夹角旋转块(2)通过螺钉连接,所述夹角旋转块(2)和所述DMD承载台(1)通过弹性部件连接;
所述改进装置还包括至少三个倍率调节装置(11),所述倍率调节装置(11)和所述DMD承载台(1)通过螺纹方式一同连接至所述夹角旋转块(2);
所述夹角旋转块(2)中空板的定位外圆嵌入所述底座(3)的定位内圆中,所述夹角旋转块(2)的中空板还包括伸长的板件(21),所述板件(21)与夹角螺杆(22)和弹性顶紧机构(23)接触,以通过调节夹角螺杆(22)而使所述夹角旋转块(2)旋转。
2.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置,其特征在于,所述夹角螺杆(22)和所述弹性顶紧机构(23)分别设置于螺杆固定座(4)两侧;所述螺杆固定座(4)固定在所述底座(3)上。
3.根据权利要求2所述的一种调节成像光路夹角的改进装置,其特征在于,所述夹角螺杆(22)与所述螺杆固定座(4)的螺纹孔(42)相配合,所述弹性顶紧机构(23)与所述螺杆固定座(4)的固定孔(43)相配合。
4.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置,其特征在于,所述倍率调节装置(11)和所述DMD承载台(1)能够与所述夹角旋转块(2)作为整体一同旋转。
5.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置,其特征在于,所述夹角旋转块(2)能够通过夹角螺杆(22)施加的力而绕着所述底座(3)的定位内圆旋转。
6.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置,其特征在于,由于所述弹性顶紧机构(23)的设置,所述夹角旋转块(2)的板件(21)和夹角螺杆(22)的连接处不是固定的,所述板件(21)和夹角螺杆(22)的接触点能够随着所述夹角旋转块(2)旋转而不断变化,以使得夹角螺杆(22)施加的力的方向和夹角旋转块(2)始终处于相切,从而不会产生所述夹角旋转块(2)卡死或者倾斜的问题。
7.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置,其特征在于,在所述夹角旋转块(2)嵌入所述底座(3)的定位外圆的圆周方向均布多个钢球(31)以限制其离心。
8.根据权利要求7所述的一种调节成像光路夹角的改进装置,其特征在于,所述多个钢球(31)通过所述底座(3)的定位孔施加到所述夹角旋转块(2)嵌入所述底座(3)的定位外圆的圆周方向上。
9.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置,其特征在于,所述夹角螺杆(22)能够采用差分调节螺钉(5)替代,从而减少游隙产生的误差;所述差分调节螺钉(5)包括粗调旋钮(51)和精调旋钮(52),能够实现更精准的调节。
10.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置,其特征在于,在所述DMD承载台(1)上开有合适尺寸的方形孔(12);需要的光可以通过所述方形孔(12)到达DMD,杂散光则被阻挡在方向孔的下方,以改善杂散光的散射。
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