[实用新型]一种调节成像光路夹角的改进装置

说明书

本实用新型公开了一种调节成像光路夹角的改进装置，属于曝光技术领域。所述改进装置包括：DMD承载台，夹角旋转块和嵌入底座，还包括一同连接至夹角旋转块的倍率调节装置；夹角旋转块中空板的定位外圆嵌入底座的定位内圆中，夹角旋转块还包括伸长的板件(21)，板件(21)通过夹角螺杆(22)和弹性顶紧机构(23)连接，以通过调节夹角螺杆(22)而使夹角旋转块旋转。所述改进装置由于弹性顶紧机构(23)的设置，以及在夹角旋转块嵌入底座的定位外圆的圆周方向均布多个钢球(31)以限制其离心，从而在夹角调节时使得DMD承载台保持水平，保证光轴不会倾斜；并且保证上部机构不会偏离中心轴线。

技术领域

本实用新型涉及一种调节成像光路夹角的改进装置，属于曝光技术领域。

背景技术

在采用LDI(laser direct imaging)曝光机的PCB行业或半导体行业中，光路调节是非常重要的一个环节，光路调节的调整精度直接影响图形的曝光质量。并且，在光路调节过程中，通常需要调整DMD(Digital Micromirror Device)曝光系统，使其与投影物镜的像面实现共焦，同时调整DMD曝光系统的角度，使投影的图像与曝光运动方向的角度达到设计要求，从而使曝光质量得到提升。

专利CN211427045U提供了一种调节成像光路倍率及夹角的装置，通过旋转倍率调节装置上的手杆，使其上的指针对应相同值的刻度，且指针和刻度的配合，使得在调节各个倍率调节装置时有所参照，达到准确调节的要求；并且在需要调节投影的图像与曝光运动方向的角度时，通过旋转手轮来调节中空的板件的相对位置，带动DMD承载台位置的改变以达到夹角调节的目的。

然而，专利CN211427045U提供的调节成像光路倍率及夹角的装置，在夹角调节时仍存在两个问题：(1)在夹角调节时上部机构会偏离中心轴线，以至于相邻两个DMD曝光系统所形成的光斑会出现重合或间隙；(2)大角度调节时(大于0.4度)上部机构在竖直方向产生倾斜，导致竖直方向光轴产生倾斜，曝光线条粗细不一，影响PCB板线路解析，并且也会导致光斑结合处出现重合和间隙，影响曝光质量。

实用新型内容

[技术方案]

本实用新型针对上述问题，提供一种改进的调节成像光路倍率及夹角的装置，以实现准确调节的要求：在夹角调节时使得DMD承载台保持水平，保证光轴不会倾斜；并且保证上部机构不会偏离中心轴线。

参考图1，专利CN211427045U提供的调节成像光路倍率及夹角的装置中，夹角调节时，DMD承载台(1)、夹角旋转块(2)，倍率调节装置(11)作为整体一起旋转；通过夹角螺杆(22)施加的力来带动上部机构(1、2和11)旋转；其中，角度调节主要通过夹角螺杆的旋转实现：通过旋转夹角螺杆(22)的前进和后退配合弹性顶紧机构(23)来实现夹角旋转块(2)、DMD承载台(1)和倍率调节装置(11)一起顺时针或逆时针旋转，从而实现角度的增大或减小，具体为顺时针旋转夹角变大，逆时针旋转夹角变小。

从而，专利CN211427045U的装置中，上部机构在旋转过程中会偏离中心轴线，并且在大角度调节时(大于0.4度)，上部机构在水平方向会产生倾斜。

根据本实用新型，在调节成像光路夹角的改进装置中，参考图2所示，所述改进装置包括：DMD承载台(1)，夹角旋转块(2)和嵌入底座(3)，三者均为中空装置以便光路通过；其中，所述底座(3)和所述夹角旋转块(2)通过螺钉连接，所述夹角旋转(2)和所述DMD承载台(1)通过弹性部件连接。

所述改进装置还包括至少三个倍率调节装置(11)，所述倍率调节装置(11)和DMD承载台(1)通过螺纹方式一同连接至夹角旋转块(2)。

所述夹角旋转块(2)中空板的定位外圆嵌入所述底座(3)的定位内圆中，所述夹角旋转块(2)的中空板还包括伸长的板件(21)，所述板件(21)与夹角螺杆(22)和弹性顶紧机构(23)的球面接触，以通过调节夹角螺杆(22)而使所述夹角旋转块(2)旋转。