[实用新型]一种载板定位机构

说明书

本实用新型请求保护的载板定位机构，包括载板支撑平台、伸缩驱动件、第一定位组件、换向连接组件和第二定位组件，伸缩驱动件具有两个移动部，其中每个移动部上分别连接有定位换向块，第一定位组件安装于两个定位换向块上；第二定位组件通过换向连接组件安装于定位换向块上，伸缩驱动件能够通过定位换向块同时驱动第一定位组件及第二定位组件，以使第一定位组件沿第一方向、第二定位组件沿第二方向进行运动。本实用新型工作时一次驱动能够同时实现对置于该载板支撑平台上载板在第一方向及第二方向上的定位，避免两次驱动而产生后驱动时所受到阻力大的情形，以此达到对载板精确定位的目的。

技术领域

本实用新型属于硅片传送相关的技术领域，特别是涉及一种载板定位机构。

背景技术

PECVD/PVD/RPD制备工艺与设备中硅片的传送为该工序一个重要环节，即由传送装置将硅片移栽到载板上，在放置硅片之前首先要将载板进行精确定位，再通过移载机构带动已排布好硅片的载板放置到PECVD/PVD/RPD的腔室中。为防止镀膜过程将硅片边缘位置镀膜到背面，这对载板定位精度和硅片放置精度提出更高要求。

目前，现有的载板定位方式通常由两个伸缩气缸实现，具体地先用左右气缸推动，实现对载板在左右方向上的定位，然后再用前后气缸推动，实现对载板在前后方向上的定位，亦即实现对载板的定位。然而，由于左右气缸推顶定位过后，前后气缸推动时所受到的阻力变大，而且载板的输送滚轮带有橡胶圈，使得载板在定位的过程中所受到的摩擦阻力较大，从而影响载板整体的定位精度。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有技术中存在的技术问题，提供一种载板定位机构，该载板定位机构能够实现对载板的精确定位。

一种载板定位机构，包括载板支撑平台、伸缩驱动件、第一定位组件、换向连接组件和第二定位组件，所述伸缩驱动件具有两个移动部，其中每个所述移动部上分别连接有定位换向块，所述第一定位组件安装于两个所述定位换向块上；所述第二定位组件通过所述换向连接组件安装于所述定位换向块上，所述伸缩驱动件能够通过所述定位换向块同时驱动所述第一定位组件及所述第二定位组件，以使所述第一定位组件沿第一方向、所述第二定位组件沿第二方向进行运动。

在本申请中，通过上述合理的结构设置，使得该载板定位机构工作时，能够用一个伸缩驱动件，实现对第一定位组件在第一方向，第二定位组件在第二方向的运动驱动，亦即使得该载板定位机构一次驱动能够同时实现对置于该载板支撑平台上载板在第一方向及第二方向上的定位，避免两次驱动而产生后驱动时所受到阻力大的情形，以此达到对载板精确定位的目的。

在其中一个实施例中，所述换向连接组件包括连接杆和滚轮，所述连接杆沿所述第二方向设置；其中，所述定位换向块具有抵推斜面，所述滚轮可转动地安装于所述连接杆的一端，且所述滚轮能够抵靠于所述定位换向块的抵推斜面，以使所述定位换向块能够通过所述抵推斜面推顶所述连接杆沿所述第二方向作相对于所述载板支撑平台的运动。

可以理解的是，通过上述抵推斜面与滚轮之间的配合，具体实现该定位换向块沿第一方向运动的同时，能够在第二方向实现对换向连接组件的运动驱动，进而达到对第二定位组件在第二方向的运动驱动，具有简化结构，便于换向连接组件与定位换向块配合的作用。

在其中一个实施例中，所述换向连接组件还包括移动板，所述第二定位组件安装于所述移动板上；所述移动板上安装有连接块，且所述连接杆通过所述连接块安装于所述移动板上。

可以理解的是，通过上述移动板的结构设置，具体实现第二定位组件在换向连接组件上的装配连接，使得换向连接组件在定位换向块的驱动下能够带动第二定位组件在第二方向作相对于载板支撑平台的运动。

在其中一个实施例中，所述连接杆的数量为两个，两个所述连接杆分居于所述移动板的两侧。

可以理解的是，将连接杆的数量设为两个，使得两个连接杆能够同时带动移动板运动，以此提高连接杆驱动移动板沿第二方向作相对于载板支撑平台运动的稳定性。