[实用新型]一种硅片移载装置

权利要求书

1.一种硅片移载装置，其特征在于，包括支撑板(10)、伸缩驱动件(20)、固定夹爪(30)和活动夹爪(40)，所述伸缩驱动件(20)及所述固定夹爪(30)设置于所述支撑板(10)上，所述伸缩驱动件(20)的移动部(21)活动地连接有伸缩摆臂(50)，所述活动夹爪(40)能够与所述固定夹爪(30)配合并形成有硅片夹腔(101)，所述活动夹爪(40)上远离所述硅片夹腔(101)的部分与所述伸缩摆臂(50)配合，且所述伸缩驱动件(20)能够通过所述伸缩摆臂(50)驱动所述活动夹爪(40)作相对于所述支撑板(10)的摆动，以调整所述硅片夹腔(101)的大小。

2.根据权利要求1所述的硅片移载装置，其特征在于，所述硅片移载装置还包括安装基座(41)，所述安装基座(41)设置于所述支撑板(10)上，其中所述活动夹爪(40)转动地安装于所述安装基座(41)上。

3.根据权利要求2所述的硅片移载装置，其特征在于，所述活动夹爪(40)的数量为多个，多个所述活动夹爪(40)依次间隔地排列在所述安装基座(41)上，其中每个所述活动夹爪(40)分别与所述固定夹爪(30)配合并形成有所述硅片夹腔(101)。

4.根据权利要求1所述的硅片移载装置，其特征在于，所述活动夹爪(40)上位于所述硅片夹腔(101)区域中的部分往所述固定夹爪(30)的方向部分凸出并形成有第一凸台(1011)，所述固定夹爪(30)上设有匹配于所述第一凸台(1011)的第二凸台(1012)，且所述第一凸台(1011)及所述第二凸台(1012)配合能够对置于所述硅片夹腔(101)内的硅片(200)起到支撑限位。

5.根据权利要求4所述的硅片移载装置，其特征在于，所述硅片移载装置还包括大载板(61)和小载板(62)，所述大载板(61)及所述小载板(62)上每个硅片容槽(601)所在区域的槽壁上分别开设有匹配于所述第一凸台(1011)及/或所述第二凸台(1012)的缺槽(602)。

6.根据权利要求1所述的硅片移载装置，其特征在于，所述硅片移载装置还包括弹性驱动件(70)，所述弹性驱动件(70)安装于所述支撑板(10)与所述活动夹爪(40)之间，且所述弹性驱动件(70)能够推顶所述活动夹爪(40)，以使所述活动夹爪(40)与所述固定夹爪(30)配合形成的硅片夹腔(101)能够夹持硅片。

7.根据权利要求6所述的硅片移载装置，其特征在于，所述硅片移载装置还包括夹爪限位块(80)，所述夹爪限位块(80)安装于所述支撑板(10)上，且所述夹爪限位块(80)能够抵靠于所述活动夹爪(40)上位于所述硅片夹腔(101)区域中的部分，以限制所述活动夹爪(40)继续往所述固定夹爪(30)的方向运动。

8.根据权利要求1所述的硅片移载装置，其特征在于，所述伸缩摆臂(50)转动地安装于所述支撑板(10)上，其中所述伸缩摆臂(50)上设有固定板(51)，所述伸缩驱动件(20)的移动部(21)贯穿所述固定板(51)，并用连接销进行装配限位。

9.根据权利要求2所述的硅片移载装置，其特征在于，所述硅片移载装置还包括两个连接板(42)，两个所述连接板(42)分居于所述安装基座(41)的两外侧，且所述安装基座(41)通过两个所述连接板(42)安装于所述支撑板(10)上。

10.根据权利要求1所述的硅片移载装置，其特征在于，所述硅片移载装置还包括第一驱动机构(300)和第二驱动机构(400)，所述第一驱动机构(300)能够驱动所述支撑板(10)在第一方向上进行往复运动，所述第二驱动机构(400)能够驱动所述支撑板(10)在第二方向上进行往复运动。