[实用新型]一种硅片移载装置

说明书

本实用新型请求保护的硅片移载装置，包括支撑板、伸缩驱动件、固定夹爪和活动夹爪，伸缩驱动件及固定夹爪设置于支撑板上，伸缩驱动件的移动部活动地连接有伸缩摆臂，活动夹爪能够与固定夹爪配合并形成有硅片夹腔，活动夹爪上远离硅片夹腔的部分与伸缩摆臂配合，且伸缩驱动件能够通过伸缩摆臂驱动活动夹爪作相对于支撑板的摆动，以调整硅片夹腔的大小。本实用新型工作时能够用活动夹爪与固定夹爪配合形成的硅片夹腔抓取硅片，且在抓取硅片时活动夹爪及固定夹爪仅接触硅片的侧边，从而避免因直接接触硅片表面而造成硅片表面污脏的问题产生，以此达到洁净移载硅片的目的，进而确保了产品的良率。

技术领域

本实用新型属于硅片传送相关的技术领域，特别是涉及一种硅片移载装置。

背景技术

PECVD/PVD/RPD制备工艺与设备中硅片的传送为该工序一个重要环节，即由传送装置将硅片移载到载板上，在放置硅片之前首先要将载板进行精确定位，再通过移载机构带动已排布好硅片的载板放置到PECVD/PVD/RPD的腔室中。为防止镀膜过程将硅片边缘位置镀膜到背面，这对载板定位精度和硅片放置精度提出更高要求。

目前，现有的硅片移载方式通常采用吸盘或吸嘴直接接触硅片表面，以此达到对硅片抓取的目的。然而，采用吸盘或吸嘴直接接触硅片表面，会使硅片表面形成吸盘印或者吸嘴印，从而降低产品的良率。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有技术中存在的技术问题，提供一种硅片移载装置。

一种硅片移载装置，包括支撑板、伸缩驱动件、固定夹爪和活动夹爪，所述伸缩驱动件及所述固定夹爪设置于所述支撑板上，所述伸缩驱动件的移动部活动地连接有伸缩摆臂，所述活动夹爪能够与所述固定夹爪配合并形成有硅片夹腔，所述活动夹爪上远离所述硅片夹腔的部分与所述伸缩摆臂配合，且所述伸缩驱动件能够通过所述伸缩摆臂驱动所述活动夹爪作相对于所述支撑板的摆动，以调整所述硅片夹腔的大小。

在本申请中，通过上述合理的结构设置，使得该硅片移载装置工作时，能够用活动夹爪与固定夹爪配合形成的硅片夹腔抓取硅片，且在抓取硅片时活动夹爪及固定夹爪仅接触硅片的侧边，从而避免因直接接触硅片表面而造成硅片表面污脏的问题产生，以此达到洁净移载硅片的目的，进而确保了产品的良率；同时该硅片移载装置结构简单，用伸缩驱动件控制硅片夹腔的大小，以便于对硅片的抓放。

在其中一个实施例中，所述硅片移载装置还包括安装基座，所述安装基座设置于所述支撑板上，其中所述活动夹爪转动地安装于所述安装基座上。

可以理解的是，通过上述安装基座的结构设置，具体实现活动夹爪在该硅片移载装置中的装配连接，具有简化结构，便于活动夹爪安装的作用。

在其中一个实施例中，所述活动夹爪的数量为多个，多个所述活动夹爪依次间隔地排列在所述安装基座上，其中每个所述活动夹爪分别与所述固定夹爪配合并形成有所述硅片夹腔。

可以理解的是，通过上述的结构设置，使得该硅片移载装置一次能够同时实现对成排的硅片进行抓取，以此提高该硅片移载装置的工作效率。

在其中一个实施例中，所述活动夹爪上位于所述硅片夹腔区域中的部分往所述固定夹爪的方向部分凸出并形成有第一凸台，所述固定夹爪上设有匹配于所述第一凸台的第二凸台，且所述第一凸台及所述第二凸台配合能够对置于所述硅片夹腔内的硅片起到支撑限位。

可以理解的是，通过上述第一凸台及第二凸台的结构设置，避免该硅片移载装置工作时，置于该硅片夹腔内的硅片发生意外掉落，进而确保该硅片移载装置对硅片抓取时的稳定性。

在其中一个实施例中，所述硅片移载装置还包括大载板和小载板，所述大载板及所述小载板上每个硅片容槽所在区域的槽壁上分别开设有匹配于所述第一凸台及/或所述第二凸台的缺槽。