[实用新型]一种进气装置及系统有效
| 申请号： | 202122240234.1 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN215862898U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 程磊;熊少游;付家赫 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17D1/065;F17D3/01;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳虹 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 装置 系统 | ||
1.一种进气装置，其特征在于，包括：
进气管路，用于向反应腔通入反应气体；
分流管路，用于连接进气管路和泵出管路，所述泵出管路用于排出所述反应腔中的气体；所述分流管路的出口处具有引流结构，所述引流结构延伸至所述泵出管路中，且朝向所述泵出管路远离所述反应腔的一侧延伸。
2.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述引流结构在其延伸方向上构成直线、折线或曲线。
3.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述分流管路上设置有压力检测装置，用于检测所述分流管路中的气压。
4.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述进气管路上设置有第二阀门，所述第二阀门设置于所述第一位置和所述进气管路的进气口之间，所述第一位置为所述进气管路与所述分流管路连接位置。
5.根据权利要求4所述的进气装置，其特征在于，所述第二阀门为流量质量控制阀。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的进气装置，其特征在于，所述进气管路设置有第一阀门；所述第一阀门设置于第一位置和所述进气管路的出气口之间，所述第一位置为所述进气管路与所述分流管路连接位置。
7.根据权利要求1-5任意一项所述的进气装置，其特征在于，所述分流管路上设置有分第三阀门。
8.根据权利要求1-5任意一项所述的进气装置，其特征在于，所述泵出管路连接有压力泵，用于抽取所述泵出管路中的气体。
9.一种系统，其特征在于，包括反应腔、泵出管路和至少一个如权利要求1-8任意一项所述的进气装置。
10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，包括两个所述进气装置，两个所述进气装置中的两个进气管路用于向所述反应腔通入不同的气体。
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