[实用新型]一种进气装置及系统

说明书

本申请实施例提供了一种进气装置及系统，进气装置可以包括进气管路和分流管路，进气管路用于向反应腔通入反应气体，分流管路用于连接进气管路和泵出管路，泵出管路用于排出反应腔中的气体，分流管路的出口处具有引流结构，引流结构延伸至泵出管路中，且朝向泵出管路远离反应腔的一侧延伸，也就是说，分流管路可以具有朝向气体流通方向延伸的引流结构，这样分流管路中的气体在流出分流管路后，会沿着泵出管路的气体流通方向流通，而较少的附着在泵出管路的内壁上，因此减少了其在泵出管路中的成膜，减少了泵出管路的阻塞。

技术领域

本申请涉及气体处理技术领域，特别涉及一种进气装置及系统。

背景技术

在半导体生产领域，通常利用反应腔对晶圆进行处理，反应气体通过进气管路进入反应腔，在晶圆上发生反应，反应废气和多余的反应气体通过泵出管路(pumping line)排出反应腔之外。目前，可以设置分流管路(divert line)连接进气管路和泵出管路，分流管路可以将进气管路中的气体直接通向泵出管路而不通向反应腔，这样便于利用分流管路对进气管路进行清洗。

然而目前的管路中，从分流管路通向泵出管路的气体，容易导致泵出管路堵塞(clogging)，影响后续进入反应腔的气量变化，影响制程。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种进气装置及系统，优化进气装置的管路设计，降低泵出管路堵塞的可能性。

为实现上述目的，本申请有如下技术方案：

本申请实施例提供了一种进气装置，包括：

进气管路，用于向反应腔通入反应气体；

分流管路，用于连接进气管路和泵出管路，所述泵出管路用于排出所述反应腔中的气体；所述分流管路的出口处具有引流结构，所述引流结构延伸至所述泵出管路中，且朝向所述泵出管路远离所述反应腔的一侧延伸。

可选的，所述引流结构在其延伸方向上构成直线、折线或曲线。

可选的，所述分流管路上设置有压力检测装置，用于检测所述分流管路中的气压。

可选的，所述进气管路上设置有第二阀门，所述第二阀门设置于所述第一位置和所述进气管路的进气口之间，所述第一位置为所述进气管路与所述分流管路连接位置。

可选的，所述第二阀门为流量质量控制阀。

可选的，所述进气管路设置有第一阀门；所述第一阀门设置于第一位置和所述进气管路的出气口之间，所述第一位置为所述进气管路与所述分流管路连接位置。

可选的，所述分流管路上设置有分第三阀门。

可选的，所述泵出管路连接有压力泵，用于抽取所述泵出管路中的气体。

本申请实施例提供了一种系统，其特征在于，包括反应腔、泵出管路和至少一个所述的进气装置。

可选的，包括两个所述进气装置，两个所述进气装置中的两个进气管路用于向所述反应腔通入不同的气体。

本申请实施例提供了一种进气装置及系统，进气装置可以包括进气管路和分流管路，进气管路用于向反应腔通入反应气体，分流管路用于连接进气管路和泵出管路，泵出管路用于排出反应腔中的气体，分流管路的出口处具有引流结构，引流结构延伸至泵出管路中，且朝向泵出管路远离反应腔的一侧延伸，也就是说，分流管路可以具有朝向气体流通方向延伸的引流结构，这样分流管路中的气体在流出分流管路后，会沿着泵出管路的气体流通方向流通，而较少的附着在泵出管路的内壁上，因此减少了其在泵出管路中的成膜，减少了泵出管路的阻塞。

附图说明