[实用新型]一种晶圆承载装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆承载装置，包括：至少两组嵌套设置的承载晶圆梳组，承载晶圆梳组包括相对设置的两承载晶圆梳，以分别夹持垂直状态的晶圆相对两侧边缘，并配合承载晶圆，且至少一组承载晶圆梳组能够相对其他承载晶圆梳组升降。本实用新型通过至少两组嵌套设置的承载晶圆梳组，并且至少一组承载晶圆梳组能够相对其他承载晶圆梳组升降，从而能够在同一平面位置上设置多组承载晶圆梳组，节省空间，并且多组承载晶圆梳组能够交替使用，从而区分承载晶圆，避免交叉污染。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆承载装置。

背景技术

在半导体行业内，多片晶圆(片)在晶圆盒内是正面(芯片面)一致朝上，上下依次水平存放的，特别是目前的12寸晶圆，水平存放在FOUP(前开式晶圆盒)。然而在某些制程工艺中，尤其是批量清洗工艺，晶圆为垂直存放，并且需要区分存放清洗前后的晶圆，以避免交叉污染。

现有技术里，一般是采用两个垂直载具以分别存放清洗前后的晶圆，但该方式占用空间较大，尤其是目前半导体行业净房造价成本高、空间有限。因此，针对上述问题，有必要提出进一步地解决方案。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种晶圆承载装置，以克服现有技术中存在的不足。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：

一种晶圆承载装置，包括：

至少两组嵌套设置的承载晶圆梳组，所述承载晶圆梳组包括相对设置的两承载晶圆梳，以分别夹持垂直状态的所述晶圆相对两侧边缘，并配合承载所述晶圆，且至少一组所述承载晶圆梳组能够相对其他所述承载晶圆梳组升降。

本实用新型的一个较佳实施例中，还包括：

承载台；以及

设置于所述承载台内的至少一驱动机构三，所述驱动机构三与任一所述承载晶圆梳组连接，以驱动其相对其他所述承载晶圆梳组升降。

本实用新型的一个较佳实施例中，包括嵌套设置的两组所述承载晶圆梳组，且一组所述承载晶圆梳组内的两所述承载晶圆梳均位于另一组所述承载晶圆梳组内的两所述承载晶圆梳所形成的中间区域内。

本实用新型的一个较佳实施例中，包括嵌套设置的两组所述承载晶圆梳组，且一组所述承载晶圆梳组内的两所述承载晶圆梳均设置有贯通其顶部的空腔，另一组所述承载晶圆梳组内的两所述承载晶圆梳分别设置于对应所述空腔内，且能够由所述空腔开口出进以相对其他所述承载晶圆梳组升降。

本实用新型的一个较佳实施例中，所述承载晶圆梳的顶端倾斜设置有多个夹持槽，同一所述承载晶圆梳组内的两所述承载晶圆梳的夹持槽相对设置，以配合承载所述晶圆。

本实用新型的一个较佳实施例中，还包括晶圆扫描机构，所述晶圆扫描机构包括滑动台、滑动设置于所述滑动台上支架以及安装于所述支架上的光纤传感器，所述支架包括与所述晶圆弧度相配合的弧形部，所述光纤传感器的发射端和接收端分别设置于所述弧形部的两端。

本实用新型的一个较佳实施例中，还包括与所述承载台连接的驱动机构二，所述驱动机构二用于驱动所述承载台旋转或上下移动。

本实用新型的一个较佳实施例中，与所述驱动机构三连接的所述承载晶圆梳组的底端连接有转接板，所述转接板与所述驱动机构三连接。

本实用新型的一个较佳实施例中，所述夹持槽沿宽度方向的截面呈漏斗状，且其尾端为V型。

本实用新型的一个较佳实施例中，还包括安装座和驱动机构一，所述驱动机构二与所述安装座连接，所述驱动机构一用于驱动所述安装座水平移动。