[实用新型]一种石墨舟用陶瓷环及石墨舟有效
申请号: | 202122280335.1 | 申请日: | 2021-09-18 |
公开(公告)号: | CN216074031U | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 刘赖生;邢国强;姚骞;吴伟梁 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(眉山)有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/24;H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 付兴奇 |
地址: | 620000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 陶瓷 | ||
1.一种石墨舟用陶瓷环,其特征在于,所述陶瓷环包括陶瓷环本体,所述陶瓷环本体的外壁设置有沿其周向且朝其内壁凹陷的环状凹槽;所述陶瓷环还包括环状突出部,所述环状突出部同轴设置于所述陶瓷环本体的一端用以与石墨舟页接触,所述环状突出部的壁厚小于所述陶瓷环本体的壁厚,所述环状突出部沿其轴向的长度小于所述环状凹槽的槽口宽度。
2.根据权利要求1所述的陶瓷环,其特征在于,所述陶瓷环本体为圆柱状,所述环状凹槽与所述陶瓷环本体同轴设置。
3.根据权利要求1或2所述的陶瓷环,其特征在于,所述环状凹槽的槽口宽度为0.2mm-0.3mm。
4.根据权利要求3所述的陶瓷环,其特征在于,所述陶瓷环本体沿其轴向的长度为10mm-13mm,所述环状凹槽的数量为5-15个,其间隔分布于所述陶瓷环本体的外壁。
5.根据权利要求3所述的陶瓷环,其特征在于,所述陶瓷环本体的壁厚为2mm-5mm,所述环状凹槽的深度为0.4mm-0.6mm。
6.根据权利要求1所述的陶瓷环,其特征在于,所述环状突出部沿其轴向的长度为0.1mm-0.2mm。
7.根据权利要求1所述的陶瓷环,其特征在于,所述环状突出部为两个,两个所述环状突出部分别设置于所述陶瓷环本体的两端。
8.根据权利要求1所述的陶瓷环,其特征在于,所述环状突出部的外表面与所述环状凹槽的底面齐平。
9.一种石墨舟,其特征在于,包括多根陶瓷固定柱、多个石墨舟页以及多个如权利要求1-8任一项所述的陶瓷环,每个所述石墨舟页上设置有固定通孔,所述陶瓷固定柱穿过每个所述石墨舟页的所述固定通孔以固定多个所述石墨舟页;所述陶瓷环套设于所述陶瓷固定柱上以支撑隔离相邻两个所述石墨舟页。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的