[实用新型]一种提高多晶硅精馏反歧化产能的工艺系统

权利要求书

1.一种提高多晶硅精馏反歧化产能的工艺系统，其特征在于：包括依次连接的进料罐（1）、除杂树脂吸附柱（2）、预热器（3）、反歧化树脂柱（4）、冷却器（5）和氢化液储罐（6），进料罐（1）上设二氯二氢硅进料管（7）和四氯化硅进料管（8），氢化液储罐（6）连接回收精馏的原料储罐。

2.根据权利要求1所述的一种提高多晶硅精馏反歧化产能的工艺系统，其特征在于：所述二氯二氢硅进料管（7）通过冷凝器接于回收精馏和合成精馏中二氯二氢硅脱除塔顶部的轻组分管线；所述四氯化硅进料管（8）接于回收精馏中四氯化硅物精制塔的物料管线。

3.根据权利要求1所述的一种提高多晶硅精馏反歧化产能的工艺系统，其特征在于：所述除杂树脂吸附柱（2）的数量至少为1个，两个以上的除杂树脂吸附柱（2）并联设置；所述反歧化树脂柱（4）的数量至少为1个，两个以上的反歧化树脂柱（4）并联设置。

4.根据权利要求1所述的一种提高多晶硅精馏反歧化产能的工艺系统，其特征在于：所述除杂树脂吸附柱（2）内设反歧化除硼除杂质树脂为填料。

5.根据权利要求1所述的一种提高多晶硅精馏反歧化产能的工艺系统，其特征在于：所述反歧化树脂柱（4）内设反歧化催化剂为填料。