[实用新型]一种多晶硅膜的风干装置有效
| 申请号： | 202122286789.X | 申请日： | 2021-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN215724951U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 隋晶婷 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 赵颖 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 风干 装置 | ||
1.一种多晶硅膜的风干装置，其特征在于，所述多晶硅膜的风干装置包括湿段和干段；
所述湿段和干段之间由挡板隔开；
以多晶硅膜的插入位置为界限，所述挡板上并列设置有上风刀和下风刀；
所述上风刀上方的挡板上设置有通孔；所述通孔的湿段一侧相对设置有阻隔板；
所述干段设置有风机过滤组装置；
所述湿段按照多晶硅膜的插入位置划分为两个区域，且两个区域均设置有排气孔。
2.根据权利要求1所述的多晶硅膜的风干装置，其特征在于，所述阻隔板能够沿挡板方向上下移动。
3.根据权利要求1或2所述的多晶硅膜的风干装置，其特征在于，所述阻隔板为T形或闪电形。
4.根据权利要求1所述的多晶硅膜的风干装置，其特征在于，所述通孔与阻隔板的间距为5-10cm。
5.根据权利要求1所述的多晶硅膜的风干装置，其特征在于，所述通孔为长方形。
6.根据权利要求5所述的多晶硅膜的风干装置，其特征在于，所述通孔的长度为80-120mm。
7.根据权利要求5所述的多晶硅膜的风干装置，其特征在于，所述通孔的宽度为10-30mm。
8.根据权利要求1所述的多晶硅膜的风干装置，其特征在于，所述上风刀和下风刀之间设置有间隙。
9.根据权利要求1所述的多晶硅膜的风干装置，其特征在于，所述风机过滤组装置设置于干段的上表面。
10.根据权利要求1所述的多晶硅膜的风干装置，其特征在于，所述湿段中，下表面设置有排气孔，左侧壁设置有排气孔。
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