[实用新型]一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台

权利要求书

1.一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座（1），其特征在于：所述花岗岩底座（1）的四个边角均设有通孔，所述通孔的上端设有防撞击衬垫（11），所述通孔的下端设有底柱（12），每个所述通孔内均贯穿有伸缩杆（13），每个所述伸缩杆（13）的下端均嵌于底柱（12）的活动槽（121）内，每个所述伸缩杆（13）均通过信号线连接驱动总控装置（131），所述驱动总控装置（131）固定在花岗岩底座（1）下方，每侧所述两个相对应的伸缩杆（13）之间设有安装板（132），每侧所述安装板（132）上均设有第一气浮移动机构（3），两侧所述第一气浮移动机构（3）之间设有第二气浮移动机构（4），所述第二气浮移动机构（4）上设有工作台（5）。

2.根据权利要求1所述的一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：每侧所述第一气浮移动机构（3）包括两个第一支撑块（32），两个所述第一支撑块（32）分别固定于安装板（132）的两侧，两个所述第一支撑块（32）之间固定有第一滑行块（33），所述第一滑行块（33）上套有第一气浮轴承（331）；

每侧所述第一滑行块（33）侧边的安装板（132）上均设有第一拖链（34），所述第一拖链（34）连接着第一直线电机（341），所述第一直线电机（341）连接第一连接板（342），所述第一连接板（342）固定在第一气浮轴承（331）的一侧，所述第一气浮轴承（331）的另一侧设有第一固定板（332），两侧所述第一固定板（332）相对设置，两侧所述第一固定板（332）之间固定有支撑板（333）。

3.根据权利要求1所述的一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：所述第二气浮移动机构（4）包括两个第二滑行块（41），每个所述第二滑行块（41）的两端分别设置在支撑板（333）上，每个所述第二滑行块（41）上均套有第二气浮轴承（411），两个所述第二气浮轴承（411）之间固定有工作台（5）；

所述支撑板（333）上还设有设有第二拖链（42），所述第二拖链（42）连接着第二直线电机（421），所述第二直线电机（421）连接第二连接板（422），所述第二连接板（422）的另一端连接着其中一侧的第二气浮轴承（411）的一端。

4.根据权利要求1所述的一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：所述工作台（5）包括工作台底座（51）和工作台面（52），所述工作台底座（51）内设有旋转电机（511），所述旋转电机（511）连接着工作台面（52），所述旋转电机（511）两侧设有辅助轴承（512），一侧所述旋转电机（511）的辅助轴承（512）下端设有走气孔（513），所述走气孔（513）与工作台底座（51）外壁相通，所述工作台面（52）与旋转电机（511）交接处设有光栅（53），所述工作台面（52）上端设有多个安装孔（521）。

5.根据权利要求2所述的一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：所述第一气浮轴承（331）和第二气浮轴承（411）结构一致，包括通孔（2），所述通孔（2）的每侧内壁上均设有两个气槽（21），每个所述气槽（21）的两侧均设有气孔（22）。