[实用新型]一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台

说明书

本实用新型公开了一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座，花岗岩底座的四个边角均设有通孔，通孔的上端设有防撞击衬垫，每个通孔内均贯穿有伸缩杆，每个伸缩杆的下端均嵌于底柱的活动槽内，每个伸缩杆均通过信号线连接驱动总控装置，每侧两个相对应的伸缩杆之间设有安装板，每侧安装板上均设有第一气浮移动机构，两侧第一气浮移动机构之间设有第二气浮移动机构，第二气浮移动机构上设有工作台，本实用新型结特设的四个伸缩杆能够带动第一气浮机构和第二气浮机构，以及工作台进行上下移动，同时特设的第一气浮机构能够进行前后移动，第二气浮机构能够进行左右移动，从而实现精密定位和精确运动载物。

技术领域

本实用新型涉及气浮运动平台术领域，具体为一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台。

背景技术

气浮运动平台是精密机械中的关键部件之一，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、IC封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台；应用较多的要数在先进的电子制造设备，比如光刻机贴片机等，高性能的运动平台是其工作的主要机构；现有技术中，用于移动的气浮轴承都是卡接在滑块中，但是这样的结构连接，在移动过程中不够稳定；还有就是用于固定工件的工作台，只能做前后左右的移动，无法带动工件进行升降调节。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座，所述花岗岩底座的四个边角均设有通孔，所述通孔的上端设有防撞击衬垫，所述通孔的下端设有底柱，每个所述通孔内均贯穿有伸缩杆，每个所述伸缩杆的下端均嵌于底柱的活动槽内，每个所述伸缩杆均通过信号线连接驱动总控装置，所述驱动总控装置固定在花岗岩底座下方，每侧所述两个相对应的伸缩杆之间设有安装板，每侧所述安装板上均设有第一气浮移动机构，两侧所述第一气浮移动机构之间设有第二气浮移动机构，所述第二气浮移动机构上设有工作台。

优选的，每侧所述第一气浮移动机构包括两个第一支撑块，两个所述第一支撑块分别固定于安装板的两侧，两个所述第一支撑块之间固定有第一滑行块，所述第一滑行块上套有第一气浮轴承；

每侧所述第一滑行块侧边的安装板上均设有第一拖链，所述第一拖链连接着第一直线电机，所述第一直线电机连接第一连接板，所述第一连接板固定在第一气浮轴承的一侧，所述第一气浮轴承的另一侧设有第一固定板，两侧所述第一固定板相对设置，两侧所述第一固定板之间固定有支撑板。

优选的，所述第二气浮移动机构包括两个第二滑行块，每个所述第二滑行块的两端分别设置在支撑板上，每个所述第二滑行块上均套有第二气浮轴承，两个所述第二气浮轴承之间固定有工作台；

所述支撑板上还设有设有第二拖链，所述第二拖链连接着第二直线电机，所述第二直线电机连接第二连接板，所述第二连接板的另一端连接着其中一侧第二气浮轴承的一端。

优选的，所述工作台包括工作台底座和工作台面，所述工作台底座内设有旋转电机，所述旋转电机连接着工作台面，所述旋转电机两侧设有辅助轴承，一侧所述旋转电机的辅助轴承下端设有走气孔，所述走气孔与工作台底座外壁相通，所述工作台面与旋转电机交接处设有光栅，所述工作台面上端设有多个安装孔。

优选的，所述第一气浮轴承和第二气浮轴承结构一致，包括通孔，所述通孔的每侧内壁上均设有两个气槽，每个所述气槽的两侧均设有气孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型结构简单，设计新颖，特设的四个伸缩杆能够带动第一气浮机构和第二气浮机构，以及工作台进行上下移动，通过该伸缩式的移动，能够根据不同规格型号的工件，调整相应的高度，同时特设的第一气浮机构能够进行前后移动，第二气浮机构能够进行左右移动，从而实现精密定位和精确运动载物；