[实用新型]一种用于锗单晶片的简易高效吹干装置有效

专利信息
申请号: 202122289329.2 申请日: 2021-09-22
公开(公告)号: CN215893043U 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 梅峰;柯尊斌;王辉;王卿伟 申请(专利权)人: 中锗科技有限公司
主分类号: F26B9/10 分类号: F26B9/10;F26B21/00;F26B25/06;F26B25/18
代理公司: 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 代理人: 李建芳
地址: 211299 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 晶片 简易 高效 吹干 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种用于锗单晶片的简易高效吹干装置,包括支架、引风支撑板、支撑网和热风装置;引风支撑板包括第一引风支撑板和第二引风支撑板,第一引风支撑板和第二引风支撑板平行、且相对设置,第一引风支撑板设在支架顶部、第二引风支撑板设在支架底部;第一引风支撑板和第二引风支撑板上分别设有两个以上的引风口,热风装置可向各引风口提供热风;第一引风支撑板和第二引风支撑板之间的支架上设有两层以上结构相同的支撑边框;支撑网可活动支撑在任何一层的支撑边框上,支撑网的上表面设有两个以上的环形卡环。上述装置,可同时对锗单晶片的上下两面形成吹扫烘干,提高了烘干效率和质量;易于改造和制备,成本低廉,灵活可靠,操作简单。

技术领域

本实用新型涉及一种用于锗单晶片的简易高效吹干装置,属于锗单晶片的吹干技术领域。

背景技术

锗单晶片在清洁后,需要将表面吹干。现有技术中,锗单晶片清洗结束后,表面的水滴是用吹风机一个个单独吹干的,吹完第一个表面后,再翻面继续吹干第二个表面,耗时长,效率低,且在再等待过程中容易慢干形成水迹。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于锗单晶片的简易高效吹干装置,实现了锗单晶片的同时双面烘干,提高了烘干效率和质量;且结构简单,操作方便。

为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案如下:

一种用于锗单晶片的简易高效吹干装置,包括支架、引风支撑板、支撑网和热风装置;

引风支撑板包括第一引风支撑板和第二引风支撑板,第一引风支撑板和第二引风支撑板平行、且相对设置,第一引风支撑板设在支架顶部、第二引风支撑板设在支架底部;第一引风支撑板和第二引风支撑板上分别设有两个以上的引风口,热风装置可向各引风口提供热风;

第一引风支撑板和第二引风支撑板之间的支架上设有两层以上结构相同的支撑边框;支撑边框包括内支撑框和外支撑框,内支撑框和外支撑框均为环状结构,内支撑框的外环与外支撑框的内环沿周边连接,且内支撑框的上表面低于外支撑框的上表面、形成一阶台阶状;支撑网可活动支撑在任何一层支撑边框的内支撑框上,支撑网的上表面设有两个以上的环形卡环。

上述第一引风支撑板和第二引风支撑板的设置,用于向支撑边框的上下两侧引入热风吹扫;热风装置用于提供烘干的热风;支撑边框用于支撑网的支撑;将支撑边框设置为内、外支撑框组成的一阶台阶结构,可以确保支撑网在烘干过程中的稳定性;支撑网为网状镂空结构,用于支撑锗单晶片,设置为网状镂空结构可以同时实现锗单晶片上下表面的吹扫;支撑网的上表面设有环形卡环,烘干时,将锗单晶片置于环形卡环内侧,避免滑落,提高稳定性,当然环形卡环内侧的支撑网也为网状镂空结构,便于锗单晶片上下表面的同时吹扫。

使用时,将锗单晶片置于支撑网上的环形卡环内侧,再将支撑网置于其中一层支撑边框的内支撑框上,然后开启热风装置,同时向支撑网的上下表面烘干吹扫即可,操作简单,快捷,效率高,可以避免慢干形成的水迹,提高锗单晶片表面质量。

作为常识,环状结构包括内环和外环。

为了提高装置的稳定性,作为其中一种具体的实现方案,支架包括平行、且相对设置的左支撑纵板和右支撑纵板,左支撑纵板和右支撑纵板沿纵向设置;第一引风支撑板和第二引风支撑板均为长方形结构,第一引风支撑板和第二引风支撑板均为长度方向上一端与左支撑纵板连接、长度方向上另一端与右支撑纵板连接。

为了方便使用,上述内支撑框和外支撑框均为长方形环状结构,内支撑框外环的长度和宽度分别大于支撑网的长度和宽度,内支撑框内环的长度和宽度分别小于支撑网的长度和宽度;外支撑框长度方向的两端分别连接左支撑纵板和右支撑纵板。

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