[实用新型]一种固晶机的取晶机械手有效

专利信息
申请号: 202122297669.X 申请日: 2021-09-23
公开(公告)号: CN216084839U 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 刘磊磊 申请(专利权)人: 苏州斯尔特微电子有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 代理人: 张一鸣
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 固晶机 机械手
【权利要求书】:

1.一种固晶机的取晶机械手,包括旋转架(3)和第二取晶臂(5),其特征在于:所述旋转架(3)的内部安装有滚珠丝杆(12),且旋转架(3)与滚珠丝杆(12)转动连接,所述滚珠丝杆(12)的外侧安装有滑动块(13),且滚珠丝杆(12)与滑动块(13)通过滚珠滑动连接,所述滑动块(13)的下方安装有动力箱(14),且滑动块(13)与动力箱(14)通过螺栓固定连接,所述动力箱(14)的下方设置有第一取晶臂(4),所述第一取晶臂(4)的内部设置有螺纹腔(19)。

2.根据权利要求1所述的一种固晶机的取晶机械手,其特征在于:所述动力箱(14)的内部设置有滑动内腔(16),所述滑动内腔(16)的内部设置有辅助杆(15),所述辅助杆(15)穿出滑动内腔(16)的内部,且辅助杆(15)与第一取晶臂(4)固定连接,所述辅助杆(15)的两侧均安装有限制块(20),且辅助杆(15)与限制块(20)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种固晶机的取晶机械手,其特征在于:所述动力箱(14)的内部安装有第三电动机(17),且动力箱(14)与第三电动机(17)通过螺栓固定连接,所述动力箱(14)的下方安装有螺杆(18),且动力箱(14)与螺杆(18)通过轴承转动连接,所述螺杆(18)插进第一取晶臂(4)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种固晶机的取晶机械手,其特征在于:所述第一取晶臂(4)的下方安装有固定杆(9),且第一取晶臂(4)与固定杆(9)焊接连接,所述固定杆(9)的一侧安装有固定管(7),且固定杆(9)与固定管(7)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种固晶机的取晶机械手,其特征在于:所述固定管(7)的下方安装有吸嘴(8),且固定管(7)与吸嘴(8)固定连接,所述固定管(7)的上方安装有真空气管(6),且固定管(7)与真空气管(6)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种固晶机的取晶机械手,其特征在于:所述旋转架(3)的内部安装有第二电动机(11),且旋转架(3)与第二电动机(11)通过螺栓固定连接,所述旋转架(3)的上方安装有连接块(2),且旋转架(3)与连接块(2)通过螺栓固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种固晶机的取晶机械手,其特征在于:所述连接块(2)的上方设置有安装杆(1),且连接块(2)与安装杆(1)转动连接,所述安装杆(1)的内部安装有第一电动机(10),且安装杆(1)与第一电动机(10)通过螺栓固定连接。

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