[实用新型]一种固晶机的取晶机械手有效
申请号: | 202122297669.X | 申请日: | 2021-09-23 |
公开(公告)号: | CN216084839U | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 刘磊磊 | 申请(专利权)人: | 苏州斯尔特微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人: | 张一鸣 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 固晶机 机械手 | ||
1.一种固晶机的取晶机械手,包括旋转架(3)和第二取晶臂(5),其特征在于:所述旋转架(3)的内部安装有滚珠丝杆(12),且旋转架(3)与滚珠丝杆(12)转动连接,所述滚珠丝杆(12)的外侧安装有滑动块(13),且滚珠丝杆(12)与滑动块(13)通过滚珠滑动连接,所述滑动块(13)的下方安装有动力箱(14),且滑动块(13)与动力箱(14)通过螺栓固定连接,所述动力箱(14)的下方设置有第一取晶臂(4),所述第一取晶臂(4)的内部设置有螺纹腔(19)。
2.根据权利要求1所述的一种固晶机的取晶机械手,其特征在于:所述动力箱(14)的内部设置有滑动内腔(16),所述滑动内腔(16)的内部设置有辅助杆(15),所述辅助杆(15)穿出滑动内腔(16)的内部,且辅助杆(15)与第一取晶臂(4)固定连接,所述辅助杆(15)的两侧均安装有限制块(20),且辅助杆(15)与限制块(20)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种固晶机的取晶机械手,其特征在于:所述动力箱(14)的内部安装有第三电动机(17),且动力箱(14)与第三电动机(17)通过螺栓固定连接,所述动力箱(14)的下方安装有螺杆(18),且动力箱(14)与螺杆(18)通过轴承转动连接,所述螺杆(18)插进第一取晶臂(4)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种固晶机的取晶机械手,其特征在于:所述第一取晶臂(4)的下方安装有固定杆(9),且第一取晶臂(4)与固定杆(9)焊接连接,所述固定杆(9)的一侧安装有固定管(7),且固定杆(9)与固定管(7)固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种固晶机的取晶机械手,其特征在于:所述固定管(7)的下方安装有吸嘴(8),且固定管(7)与吸嘴(8)固定连接,所述固定管(7)的上方安装有真空气管(6),且固定管(7)与真空气管(6)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种固晶机的取晶机械手,其特征在于:所述旋转架(3)的内部安装有第二电动机(11),且旋转架(3)与第二电动机(11)通过螺栓固定连接,所述旋转架(3)的上方安装有连接块(2),且旋转架(3)与连接块(2)通过螺栓固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种固晶机的取晶机械手,其特征在于:所述连接块(2)的上方设置有安装杆(1),且连接块(2)与安装杆(1)转动连接,所述安装杆(1)的内部安装有第一电动机(10),且安装杆(1)与第一电动机(10)通过螺栓固定连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造