[实用新型]一种具有废料收集功能的晶圆切割机

权利要求书

1.一种具有废料收集功能的晶圆切割机，包括底座(1)，所述底座(1)的上端连接有工作台(2)，所述工作台(2)的上端中部设有切割台，所述工作台(2)的上端通过龙门架连接有切割机本体，其特征在于：所述工作台(2)的上端两侧设有罩盖(6)，所述罩盖(6)的一侧等距连接有若干组第一风管(5)，所述第一风管(5)的一侧延伸至龙门架的另一侧连接有箱体(3)，所述工作台(2)的上端两侧分别设有第一滑槽(8)，所述箱体(3)的下端两侧分别连接有第一滑块(7)，所述第一滑块(7)的下端滑接至第一滑槽(8)中，所述第一滑块(7)与第一滑槽(8)之间设有固定结构，所述箱体(3)的一侧设有箱门(15)，所述箱门(15)上等距设有若干组进尘口(13)，所述第一风管(5)的一端连接至箱体(3)的进尘口(13)中，所述箱体(3)的上端连接有风机(4)。

2.根据权利要求1所述的一种具有废料收集功能的晶圆切割机，其特征在于：所述罩盖(6)呈L型设置。

3.根据权利要求1所述的一种具有废料收集功能的晶圆切割机，其特征在于：所述固定结构包括第一磁铁(12)、第二磁铁(9)，所述第一磁铁(12)连接在第一滑槽(8)的底部，所述第二磁铁(9)连接于第一滑块(7)的底部，所述第二磁铁(9)与第一磁铁(12)相吸。

4.根据权利要求3所述的一种具有废料收集功能的晶圆切割机，其特征在于：所述第一磁铁(12)的上端设有限位槽(11)，所述第二磁铁(9)小于第一磁铁(12)的尺寸且位于限位槽(11)中。

5.根据权利要求1所述的一种具有废料收集功能的晶圆切割机，其特征在于：所述第一滑槽(8)的下端宽度大于上端宽度。

6.根据权利要求1所述的一种具有废料收集功能的晶圆切割机，其特征在于：所述风机(4)的上端出风口与箱体(3)的外部连通，且风机(4)的进风端和出风端分别设有滤网。