[实用新型]一种半导体测量设备

权利要求书

1.一种半导体测量设备，包括测量台（1）和支撑柱（2），所述支撑柱（2）固定于测量台（1）左端中部，且所述支撑柱（2）顶部垂直向上固定有立板（201），其特征在于：

所述测量台（1）上表面开有两条对角分布的转槽（101），且所述转槽（101）内均转动连接有螺纹杆（102），所述螺纹杆（102）外部均套入有与其螺纹连接的螺纹套（103），且所述螺纹套（103）顶部焊接有直角夹板（104），所述直角夹板（104）内壁均贴合有软垫（105）；

所述立板（201）靠内的一侧开有侧口（202），且所述侧口（202）内底部安装有电推杆（203），所述侧口（202）内活动嵌入有向右侧延伸的活动杆（204），且所述活动杆（204）外壁前后侧均开有滚槽（206），所述滚槽（206）内均滚动连接有若干颗滚珠（207）；

所述活动杆（204）外部活动套入有活动块（3），且所述活动块（3）侧面中部开有通孔（302），所述活动块（3）顶部螺纹贯穿有螺纹轴（303），且所述螺纹轴（303）末端贯穿至通孔（302）内部上方，所述螺纹轴（303）末端固定有弧形卡片（304）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体测量设备，其特征在于：所述测量台（1）外壁左后角和外壁右前角均固定有支板（106），且所述支板（106）上方均安装有电动机（107）。

3.根据权利要求2所述的一种半导体测量设备，其特征在于：所述螺纹杆（102）末端贯穿出测量台（1）外壁，且所述螺纹杆（102）末端与相邻的所述电动机（107）输出端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体测量设备，其特征在于：所述螺纹套（103）上表面凸出于转槽（101）表面，且所述直角夹板（104）位于测量台（1）上表面，两块所述直角夹板（104）成对角对称分布。

5.根据权利要求1所述的一种半导体测量设备，其特征在于：所述电推杆（203）输出端连接有连杆，且所述连杆顶部与活动杆（204）下表面左侧固定连接，所述活动杆（204）左端固定有滑块（205）。

6.根据权利要求5所述的一种半导体测量设备，其特征在于：所述侧口（202）内壁左侧开有滑槽，且所述滑块（205）滑入滑槽内并与其滑动连接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体测量设备，其特征在于：所述通孔（302）穿过所述活动杆（204），且所述滚珠（207）外壁与通孔（302）内壁滚动连接，所述弧形卡片（304）位于活动杆（204）上表面。

8.根据权利要求1所述的一种半导体测量设备，其特征在于：所述活动块（3）底部安装有激光测量头（301），且所述激光测量头（301）平行于两块所述直角夹板（104）之间上方。