[实用新型]顶针组件及半导体工艺设备

权利要求书

1.一种顶针组件，应用于半导体工艺设备中，用于移动晶圆，其特征在于，所述顶针组件包括导向连接件(100)、调节组件和升降盘(300)；

所述调节组件包括螺纹连接件和调节支架(210)，所述调节支架(210)位于所述升降盘(300)的下方，所述螺纹连接件用于连接所述调节支架(210)与所述升降盘(300)，且还用于调节所述调节支架(210)和所述升降盘(300)之间的距离；

所述升降盘(300)上设置有第一螺纹孔，所述调节支架(210)上设置有条形孔，所述条形孔沿水平方向延伸，所述螺纹连接件穿过所述条形孔与所述第一螺纹孔螺纹连接，使所述调节支架(210)可相对于所述升降盘(300)沿水平方向运动，进而使所述调节支架(210)与所述导向连接件(100)相连接或相分离。

2.根据权利要求1所述的顶针组件，其特征在于，所述螺纹连接件的数量为两个，分别为第一螺纹连接件(221)和第二螺纹连接件(222)，

所述条形孔的数量为两个，分别为第一条形孔(2141)和第二条形孔(2131)；

所述第一螺纹孔的数量为两个，分别对应所述第一螺纹连接件(221)和所述第二螺纹连接件(222)；两个所述第一螺纹孔分别与所述第一条形孔(2141)和所述第二条形孔相对设置；

所述第一条形孔(2141)和所述第二条形孔(2131)沿所述调节支架(210)的运动方向间隔分布，所述第一条形孔(2141)靠近所述导向连接件(100)设置，所述第一螺纹连接件(221)穿过所述第一条形孔(2141)与一个所述第一螺纹孔螺纹连接，所述第二螺纹连接件(222)穿过所述第二条形孔(2131)与另一个所述第一螺纹孔螺纹连接；

所述调节支架(210)还开设有第二螺纹孔(2142)，所述第二螺纹孔(2142)设置于所述第一条形孔(2141)和所述第二条形孔(2131)之间，所述调节组件还包括螺纹调节件(223)，所述螺纹调节件(223)与所述第二螺纹孔(2142)螺纹连接，且所述螺纹调节件(223)的一端顶靠在所述升降盘(300)上。

3.根据权利要求2所述的顶针组件，其特征在于，所述调节支架(210)包括相连接的固定段(213)和调节段(214)，所述第二条形孔(2131)开设于所述固定段(213)，所述第一条形孔(2141)和所述第二螺纹孔(2142)均开设于所述调节段(214)，所述固定段(213)与所述升降盘(300)抵接，所述调节段(214)与所述升降盘(300)之间具有调节间隙，所述调节段(214)背离所述固定段(213)的一端可与所述导向连接件(100)相连接，所述固定段(213)的厚度大于所述调节段(214)的厚度。

4.根据权利要求1所述的顶针组件，其特征在于，所述调节支架(210)为条形结构件，且所述条形结构件的延伸方向与所述调节支架(210)的运动方向相同。

5.根据权利要求1所述的顶针组件，其特征在于，所述条形孔为沉头孔结构。

6.根据权利要求1所述的顶针组件，其特征在于，所述调节支架(210)朝向所述导向连接件(100)的一端延伸有连接凸起，所述导向连接件(100)设置有凹槽(101)；

在所述调节支架(210)与所述导向连接件(100)相连接时，所述连接凸起的至少部分位于所述凹槽(101)内，以使所述调节支架(210)与所述导向连接件(100)限位配合；

在所述调节支架(210)与所述导向连接件(100)相分离时，所述连接凸起位于所述凹槽(101)之外。