[实用新型]一种芯片生产上料用机械臂夹具有效
申请号: | 202122330508.6 | 申请日: | 2021-09-26 |
公开(公告)号: | CN216015320U | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
发明(设计)人: | 朱洪川 | 申请(专利权)人: | 深圳市艾诺曼科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 闫露露 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 生产 上料用 机械 夹具 | ||
1.一种芯片生产上料用机械臂夹具,包括机械臂(1)和控制组件,其特征在于:所述机械臂(1)一端的两侧均活动安装有夹臂(5),所述机械臂(1)一侧的中间位置处活动安装有调节杆(3),所述调节杆(3)通过控制组件与夹臂(5)传动连接,两根所述夹臂(5)相对的一侧均设置有保护组件。
2.根据权利要求1所述的一种芯片生产上料用机械臂夹具,其特征在于:所述控制组件包括固定架(2)、电动杆(4)、连接齿轮(6)、固定块(7)、调节齿条(8)、连接吸盘(9)、连接套(18)和支撑弹簧(19),所述机械臂(1)一侧的中间位置处固定安装有电动杆(4)。
3.根据权利要求2所述的一种芯片生产上料用机械臂夹具,其特征在于:所述机械臂(1)的一侧固定安装有固定架(2),所述固定架(2)的内部贯穿有与电动杆(4)输出端相连接的调节杆(3),所述调节杆(3)的两侧均固定安装有调节齿条(8)。
4.根据权利要求3所述的一种芯片生产上料用机械臂夹具,其特征在于:所述机械臂(1)一端的两侧均固定安装有固定块(7),所述固定块(7)的外侧活动套设有安装夹臂(5)的连接齿轮(6),所述连接齿轮(6)与调节齿条(8)相啮合。
5.根据权利要求4所述的一种芯片生产上料用机械臂夹具,其特征在于:所述调节杆(3)一端的内部固定安装有支撑弹簧(19),所述支撑弹簧(19)的一端安装有连接套(18),所述连接套(18)与调节杆(3)的一端活动连接,所述连接套(18)的一端固定安装有连接吸盘(9)。
6.根据权利要求5所述的一种芯片生产上料用机械臂夹具,其特征在于:所述保护组件包括固定杆(10)、夹板(11)、防滑纹(12)、倾斜块(13)、缓冲支杆(14)、缓冲套(15)、缓冲弹簧(16)和连接块(17),两根所述夹臂(5)相对侧均固定安装有保护条。
7.根据权利要求6所述的一种芯片生产上料用机械臂夹具,其特征在于:所述保护条的内部固定安装有固定杆(10),所述固定杆(10)的两端均套设有与保护条内壁固定连接的缓冲弹簧(16),所述固定杆(10)的两端均套设有与缓冲弹簧(16)相连接的缓冲套(15)。
8.根据权利要求7所述的一种芯片生产上料用机械臂夹具,其特征在于:所述缓冲套(15)的一侧活动安装有缓冲支杆(14),两根所述缓冲支杆(14)之间活动安装有夹板(11),所述夹板(11)的一端设置有倾斜块(13),所述夹板(11)一侧的两端均安装有与保护条活动连接的连接块(17),所述夹板(11)的另一侧设置有防滑纹(12)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造