[实用新型]一种芯片生产上料用机械臂夹具有效
申请号: | 202122330508.6 | 申请日: | 2021-09-26 |
公开(公告)号: | CN216015320U | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
发明(设计)人: | 朱洪川 | 申请(专利权)人: | 深圳市艾诺曼科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 闫露露 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 生产 上料用 机械 夹具 | ||
本实用新型公开了一种芯片生产上料用机械臂夹具,包括机械臂和控制组件,所述机械臂一端的两侧均活动安装有夹臂,所述机械臂一侧的中间位置处活动安装有调节杆,所述调节杆通过控制组件与夹臂传动连接,两根所述夹臂相对的一侧均设置有保护组件,所述保护组件包括固定杆、夹板、防滑纹、倾斜块、缓冲支杆、缓冲套、缓冲弹簧和连接块,当芯片两侧与夹板接触时,夹板受力通过缓冲支杆带动缓冲弹簧进行移动,缓冲弹簧沿着固定杆进行移动,对缓冲弹簧进行压缩,在缓冲弹簧的作用下,具有一定的缓冲效果,避免夹臂与芯片接触时,直接夹伤芯片,影响后期的使用,同时在防滑纹的作用下,加强了夹取效果。
技术领域
本实用新型涉及芯片生产技术领域,具体为一种芯片生产上料用机械臂夹具。
背景技术
集成电路英语:integrated circuit,缩写作IC;或称微电路(microcircuit)、微芯片(microchip)、晶片/芯片(chip)在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上,电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜(thin-film)集成电路,另有一种厚膜(thick-film)集成电路(hybrid integrated circuit)是由独立半导体设备和被动组件,集成到衬底或线路板所构成的小型化电路。
机械臂夹具是芯片生产加工的重要设备,但是现有的机械臂夹具卡固效果比较差,而且很容易在夹取移动的过程中,造成芯片掉落,同时在夹取过程中,很容易夹伤芯片,影响后期的使用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种芯片生产上料用机械臂夹具,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种芯片生产上料用机械臂夹具,包括机械臂和控制组件,所述机械臂一端的两侧均活动安装有夹臂,所述机械臂一侧的中间位置处活动安装有调节杆,所述调节杆通过控制组件与夹臂传动连接,两根所述夹臂相对的一侧均设置有保护组件。
优选的,所述控制组件包括固定架、电动杆、连接齿轮、固定块、调节齿条、连接吸盘、连接套和支撑弹簧,所述机械臂一侧的中间位置处固定安装有电动杆。
优选的,所述机械臂的一侧固定安装有固定架,所述固定架的内部贯穿有与电动杆输出端相连接的调节杆,所述调节杆的两侧均固定安装有调节齿条。
优选的,所述机械臂一端的两侧均固定安装有固定块,所述固定块的外侧活动套设有安装夹臂的连接齿轮,所述连接齿轮与调节齿条相啮合。
优选的,所述调节杆一端的内部固定安装有支撑弹簧,所述支撑弹簧的一端安装有连接套,所述连接套与调节杆的一端活动连接,所述连接套的一端固定安装有连接吸盘。
优选的,所述保护组件包括固定杆、夹板、防滑纹、倾斜块、缓冲支杆、缓冲套、缓冲弹簧和连接块,两根所述夹臂相对侧均固定安装有保护条。
优选的,所述保护条的内部固定安装有固定杆,所述固定杆的两端均套设有与保护条内壁固定连接的缓冲弹簧,所述固定杆的两端均套设有与缓冲弹簧相连接的缓冲套。
优选的,所述缓冲套的一侧活动安装有缓冲支杆,两根所述缓冲支杆之间活动安装有夹板,所述夹板的一端设置有倾斜块,所述夹板一侧的两端均安装有与保护条活动连接的连接块,所述夹板的另一侧设置有防滑纹。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造