[实用新型]一种掩膜版涂胶装置

权利要求书

1.一种掩膜版涂胶装置，其特征在于，包括连接有旋转装置的涂胶平台，所述涂胶平台上设置有用于放置待涂胶掩膜版且连接有升降装置的升降板，所述升降板上方设置有可升降的涂胶盖板；在涂胶时，所述涂胶盖板下降至所述涂胶平台上并覆盖在待涂胶掩膜版上方，随所述涂胶平台和待涂胶掩膜版同步旋转。

2.根据权利要求1所述的掩膜版涂胶装置，其特征在于，所述升降板的上表面上设置有若干支撑垫，待涂胶掩膜版置于升降板上并由所述支撑垫支撑。

3.根据权利要求2所述的掩膜版涂胶装置，其特征在于，所述支撑垫由硅胶制成，支撑垫包括设置在升降板中心位置的大支撑块、均布设置在升降板整个上表面上的若干支撑点柱和绕设在升降板外边沿位置的密封支撑圈。

4.根据权利要求1所述的掩膜版涂胶装置，其特征在于，所述升降板上还连接有真空装置，所述真空装置包括设置在升降板上的若干抽真空孔、穿过涂胶平台且与所述抽真空孔连通的抽真空管和连接在所述抽真空管末端的真空机。

5.根据权利要求1所述的掩膜版涂胶装置，其特征在于，所述升降板尺寸不大于待涂胶掩膜版尺寸。

6.根据权利要求1所述的掩膜版涂胶装置，其特征在于，所述涂胶平台的上表面上设置有第一容置槽，所述升降板置于所述第一容置槽内，所述升降装置包括第一升降气缸，所述第一升降气缸竖直安装于所述涂胶平台底部且第一升降气缸的气缸推杆穿过所述涂胶平台与所述升降板固接。

7.根据权利要求6所述的掩膜版涂胶装置，其特征在于，所述涂胶平台的上表面上设置有第二容置槽，所述第二容置槽套设在所述第一容置槽外部并与所述第一容置槽中心线重合，所述第二容置槽尺寸与待涂胶掩膜版尺寸相适应。

8.根据权利要求1所述的掩膜版涂胶装置，其特征在于，所述涂胶平台的外边沿设置有阻隔圈，所述阻隔圈上均布固定有若干支撑卡脚，在涂胶时，所述涂胶盖板下降至所述支撑卡脚上，被支撑卡脚固定；

所述支撑卡脚呈L型，呈L型的支撑卡脚的台阶面为支撑面，实现对涂胶盖板支撑，呈L型的支撑卡脚的竖直面为限位面，实现对涂胶盖板在水平方向上进行限位；

所述台阶面高度略高于待涂胶掩膜版上表面位置，被台阶面支撑起的涂胶盖板与待涂胶掩膜版上表面不接触。

9.根据权利要求1所述的掩膜版涂胶装置，其特征在于，所述涂胶盖板上朝向待涂胶掩膜版的侧面涂覆有氧化铝膜。

10.根据权利要求1所述的掩膜版涂胶装置，其特征在于，所述涂胶盖板上远离待涂胶掩膜版的侧面上连接有第二升降气缸，所述第二升降气缸的气缸推杆竖直向下并与涂胶盖板连接，第二升降气缸的气缸推杆的端部通过轴承与涂胶盖板连接。