[实用新型]一种银镜膜层结构有效

专利信息
申请号: 202122382155.4 申请日: 2021-09-29
公开(公告)号: CN217114430U 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 李永茂;林武;李文浩 申请(专利权)人: 福建兆元光电有限公司
主分类号: H01L33/40 分类号: H01L33/40
代理公司: 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 代理人: 林振杰
地址: 350109 福建省福州*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 银镜 结构
【权利要求书】:

1.一种银镜膜层结构,其特征在于,包括第一镍钒合金层、银层和合金复合层;

所述第一镍钒合金层位于电流扩展层上方;

所述银层位于所述第一镍钒合金层上方;

所述合金复合层位于所述银层上方,所述合金复合层包括交替排列的镍钒合金和钛钨合金。

2.根据权利要求1所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,所述银层包括纯度为99.99%的第一银层,所述第一银层位于所述第一镍钒合金层上方,且厚度为200-300埃米。

3.根据权利要求2所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,所述银层还包括纯度为99.99%的第二银层,所述第二银层位于所述第一银层上方,且厚度为1500-1700埃米。

4.根据权利要求1所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,所述合金复合层包括依次层叠的第二镍钒合金层、第一钛钨合金层、第三镍钒合金层和第二钛钨合金层。

5.根据权利要求4所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,纯度均为99.999%且镍钒重量比均为93:7的所述第二镍钒合金层和所述第三镍钒合金层的厚度均为450-550埃米。

6.根据权利要求4所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,纯度均为99.999%且钛钨重量比均为90:10的所述第一钛钨合金层和所述第二钛钨合金层的厚度均为1900-2100埃米。

7.根据权利要求1所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,纯度为99.999%且镍钒重量比为93:7的所述第一镍钒合金层的厚度为10-20埃米。

8.根据权利要求1所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,所述电流扩展层的厚度为850-950埃米。

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