[实用新型]一种银镜膜层结构有效
申请号: | 202122382155.4 | 申请日: | 2021-09-29 |
公开(公告)号: | CN217114430U | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 李永茂;林武;李文浩 | 申请(专利权)人: | 福建兆元光电有限公司 |
主分类号: | H01L33/40 | 分类号: | H01L33/40 |
代理公司: | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 林振杰 |
地址: | 350109 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 银镜 结构 | ||
1.一种银镜膜层结构,其特征在于,包括第一镍钒合金层、银层和合金复合层;
所述第一镍钒合金层位于电流扩展层上方;
所述银层位于所述第一镍钒合金层上方;
所述合金复合层位于所述银层上方,所述合金复合层包括交替排列的镍钒合金和钛钨合金。
2.根据权利要求1所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,所述银层包括纯度为99.99%的第一银层,所述第一银层位于所述第一镍钒合金层上方,且厚度为200-300埃米。
3.根据权利要求2所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,所述银层还包括纯度为99.99%的第二银层,所述第二银层位于所述第一银层上方,且厚度为1500-1700埃米。
4.根据权利要求1所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,所述合金复合层包括依次层叠的第二镍钒合金层、第一钛钨合金层、第三镍钒合金层和第二钛钨合金层。
5.根据权利要求4所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,纯度均为99.999%且镍钒重量比均为93:7的所述第二镍钒合金层和所述第三镍钒合金层的厚度均为450-550埃米。
6.根据权利要求4所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,纯度均为99.999%且钛钨重量比均为90:10的所述第一钛钨合金层和所述第二钛钨合金层的厚度均为1900-2100埃米。
7.根据权利要求1所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,纯度为99.999%且镍钒重量比为93:7的所述第一镍钒合金层的厚度为10-20埃米。
8.根据权利要求1所述的一种银镜膜层结构,其特征在于,所述电流扩展层的厚度为850-950埃米。
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