[实用新型]一种智能蚀刻喷液装置

权利要求书

1.一种智能蚀刻喷液装置，其特征在于：包括喷淋腔，喷淋腔为下端封闭的筒状腔体，喷淋腔的上端设有可启闭的封盖，封盖下侧固定有载台，待蚀刻的基片设置在载台的下侧面，喷淋腔内设置有喷淋管，喷淋管包括周向均匀分散的若干条支管，支管向上弯曲朝向载台，喷淋管的中部通过喷淋管转动机构设置在喷淋腔的底部，喷淋管转动机构包括设置在喷淋腔底部的支座和设置在支座内的流通管，流通管的上端与喷淋管连通，流通管的上部与支座转动连接，流通管中部穿过喷淋腔底部，并于流通管下部固定有齿轮，与之啮合的，喷淋腔外固定有电机带动的齿轮箱，流通管通过齿轮箱由电机带动转动，流通管的下端连通有进液管，流通管与进液管转动密封连接。

2.根据权利要求1所述的智能蚀刻喷液装置，其特征在于：所述喷淋腔的底部连接有出液管。

3.根据权利要求2所述的智能蚀刻喷液装置，其特征在于：所述喷淋腔的底部为圆弧形底，出液管的开口设置在喷淋腔底部的中部。

4.根据权利要求1所述的智能蚀刻喷液装置，其特征在于：所述流通管的上部与支座转动密封连接，流通管的中部与喷淋腔底部壁体转动密封连接。

5.根据权利要求1所述的智能蚀刻喷液装置，其特征在于：所述喷淋管的支管向上弯曲，并朝向中部迂回。

6.根据权利要求5所述的智能蚀刻喷液装置，其特征在于：所述喷淋管的支管呈螺旋状排列。

7.根据权利要求1所述的智能蚀刻喷液装置，其特征在于：所述载台上设置有环状的基片安置区域，基片呈环状均匀安置，喷淋管支管的开口朝向基片安置区域。

8.根据权利要求1所述的智能蚀刻喷液装置，其特征在于：所述载台边缘设置有向下凸起的滴水檐。

9.根据权利要求1所述的智能蚀刻喷液装置，其特征在于：所述载台通过载台安装座设置在封盖上，载台安装座内设与载台固定连接的转轴，载台在转轴的带动下以转轴为中心转动，转动方向与喷淋管转动方向相反。