[实用新型]一种智能蚀刻喷液装置

说明书

一种智能蚀刻喷液装置，属于化工设备技术领域，包括喷淋腔，喷淋腔为下端封闭的筒状腔体，喷淋腔的上端设有可启闭的封盖，封盖下侧固定有载台，待蚀刻的基片设置在载台的下侧面，喷淋腔内设置有喷淋管，喷淋管包括周向均匀分散的若干条支管，支管向上弯曲朝向载台，喷淋管的中部通过喷淋管转动机构设置在喷淋腔的底部。本实用新型结构新颖，构思巧妙，使用方便，能够快速蚀刻出高质量的基片，生产效率高，自动化程度高，操作环境安全性能好。

技术领域

本实用新型属于化工设备技术领域，具体是一种智能蚀刻喷液装置。

背景技术

蚀刻液是一种通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的液体，原应用于印刷电路板的蚀刻，后来随着化学工艺技术的不断发展，已经广泛应用于各种加工领域，如锂电池的电极制备中，基片的加工环节，如太阳能电池制备中，基片的加工环节，都通过蚀刻的方式进行加工，这种基于电化学反应的加工工艺，可采用批量加工，加工效率高，次品率低，废液可回收，深受人们青睐。同时，随着这些新型电池的生产工艺水平和需求水平日益更新，在加工过程中对蚀刻液的利用也越来越多。

然而，蚀刻液作为一类危险化学品，根据加工材料的不同，生产加工以及蚀刻过程中所要求的工艺条件和环境也有不同，但不可避免的，蚀刻液对人体存在较大的危害，为了对工作人员的保护和提高蚀刻效率，都需要蚀刻过程的自动化进行，然而现有技术中，脱离了人手工操作的蚀刻喷液设备均存在喷液不均和密封效果不好的问题。

因此，人们希望领域内技术人员能够设计出一种智能的蚀刻喷液装置，来满足领域内日益增长的需求。

实用新型内容

为了解决现有技术的不足，本实用新型提出一种智能蚀刻喷液装置，能够智能的对基片进行喷液蚀刻。

本实用新型要解决的技术问题是通过以下技术方案实现的：

一种智能蚀刻喷液装置，包括喷淋腔，喷淋腔为下端封闭的筒状腔体，喷淋腔的上端设有可启闭的封盖，封盖下侧固定有载台，待蚀刻的基片设置在载台的下侧面，喷淋腔内设置有喷淋管，喷淋管包括周向均匀分散的若干条支管，支管向上弯曲朝向载台，喷淋管的中部通过喷淋管转动机构设置在喷淋腔的底部，喷淋管转动机构包括设置在喷淋腔底部的支座和设置在支座内的流通管，流通管的上端与喷淋管连通，流通管的上部与支座转动连接，流通管中部穿过喷淋腔底部，并于流通管下部固定有齿轮，与之啮合的，喷淋腔外固定有电机带动的齿轮箱，流通管通过齿轮箱由电机带动转动，流通管的下端连通有进液管，流通管与进液管转动密封连接。

在本实用新型中，所述喷淋腔的底部连接有出液管，喷淋腔收集蚀刻过基片后的废液后，由出液管排出。

进一步的，所述喷淋腔的底部为圆弧形底，方便废液汇集到喷淋腔底部的中部，出液管的开口设置在喷淋腔底部的中部，方便废液的收集和排出。

在本实用新型中，所述流通管的上部与支座转动密封连接，流通管的中部与喷淋腔底部壁体转动密封连接，有效的避免蚀刻液从流通管和喷淋管逸出，也有效的避免废液从喷淋腔逸出。

在本实用新型中，所述喷淋管的支管向上弯曲，并朝向中部迂回，使得蚀刻液喷出后斜向上喷淋到载台的基片上，而不会因垂直喷出而影响后续喷淋液的涌出。

进一步的，所述喷淋管的支管呈螺旋状排列，在喷淋管转动时喷淋落点更均匀，废液落下时也分布更均匀。

在本实用新型中，所述载台上设置有环状的基片安置区域，基片呈环状均匀安置，喷淋管支管的开口朝向基片安置区域。

在本实用新型中，所述载台边缘设置有向下凸起的滴水檐，引导存留在载台及基片上的蚀刻液滴落，避免蚀刻液在基片上的局部驻留，使其蚀刻效果更加均匀。

在本实用新型中，所述载台通过载台安装座设置在封盖上，载台安装座内设与载台固定连接的转轴，载台在转轴的带动下以转轴为中心转动，转动方向与喷淋管转动方向相反。